Abbildung 9 Kühlanforderungen Für Next730D/930D - Edwards Next730D Betriebsanleitung
Turbomolekularpumpen
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Abbildung 9 Kühlanforderungen für nEXT730D/930D
nEXT 730D und 930D – für Stickstoff
14,0
12,0
10,0
8,0
6,0
4,0
2,0
0,0
0,6
0,0
nEXT 730D und 930D – für Argon
4,0
3,5
3,0
2,5
2,0
1,5
1,0
0,5
0,0
0,5
0,0
Wasserkühlung 15 °C, 100 l/h
Wasserkühlung 35 °C, 50 l/h
Konvektion, Umgebungstemperatur 24 °C
B8J200882_D
300812671_001_C3
B8J200882_D - Technische Daten
1,5
3,0
4,5
6,0
7,5
Druck in mbar
1,2
2,7
4,2
5,7
7,2
Druck in mbar
Seite 35
9,0
10,5
12,0
13,5
15,0
8,7
10,2
11,7
13,2
14,7
Luftkühlung, Umgebungstemperatur 24 °C
Luftkühlung, Umgebungstemperatur 40 °C
09/2021 - ©Edwards Limited
16,5 18,0
16,2 17,7
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