Saugvermögenskurven; Abbildung 2 Saugvermögen Für Next730D; Abbildung 3 Saugvermögenskurven Für Next930D - Edwards Next730D Betriebsanleitung
Turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis
nEXT
Sperrgasanschluss
Belüftungsanschluss
* Je nach Umgebungstemperatur, Gasdurchsatz und Gasart kann eine aktive
Luftkühlung oder Wasserkühlung erforderlich sein.
4.2.1 Saugvermögenskurven
Abbildung 2 Saugvermögen für nEXT730D
1,000
800
600
400
200
0
-6
10
Abbildung 3 Saugvermögenskurven für nEXT930D
1,000
800
600
400
200
0
-6
10
B8J200882_D
300812671_001_C3
B8J200882_D - Technische Daten
Stickstoff
Helium
Wasserstoff
Argon
-5
-4
10
10
Einlassdruck in mbar
Stickstoff
Helium
Wasserstoff
Argon
-5
-4
10
10
Einlassdruck in mbar
Seite 27
1230H
G 1/8"
G 1/8"
nEXT730D
-3
-2
10
10
nEXT930D
-3
-2
10
10
09/2021 - ©Edwards Limited
1
-1
10
-1
1
10
Inhaltsverzeichnis
