Technische Daten; Betriebs- Und Lagerungsbedingungen; Allgemeine Technische Daten - Edwards Next730D Betriebsanleitung

4. Technische Daten

4.1 Betriebs- und Lagerungsbedingungen

Tabelle 2 Betriebs- und Lagerungsbedingungen
Bereich (Range)
Umgebungstemperaturbereich (Betrieb)
Umgebungsluftfeuchtigkeit
Maximale Betriebshöhe
Umgebungstemperaturbereich (Lagerung)

4.2 Allgemeine technische Daten

Tabelle 3 Technische Daten nEXT730D, nEXT930D
nEXT
Hochvakuumflansch
Vorvakuumpumpe anschließen
Saugvermögen
N
2
Ar
He
H
2
Gasdurchsatz
N
2
Ar
He
H
2
Kompressionsverhältnis
N
2
Ar
He
H
2
Enddruck mit zweistufiger ölgedichte-
ter Drehschieberpumpe ISO-K/CF
Max. zulässiger
Vorvakuumdruck für N
Nenndrehzahl
Hochlaufzeit ca.
Max. Leistungsaufnahme
B8J200882_D
300812671_001_C3
B8J200882_D - Technische Daten
DN
DN
-1
I · s
mbar · I · s
mbar
mbar
2
-1
min
min
W
Technische Daten
5 °C bis 40 °C
max. 85 % RH, nicht kondensierend
4000 m (Leistungsminderung über
2000 m)
-15 °C bis 70 °C
730D
160 ISO-K
730
665
820
715
-1
500 (default), 600 (max.)
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730D 930D
160 CF 200 ISO-K
25 KF
730 925
665 865
820 905
715 735
14
3,5
21
>> 14
11
> 1·10
11
> 1·10
8
1,2·10
6
4,0·10
-9 -10
3,5·10 / 6·10
15
49 200
2,5
09/2021 - ©Edwards Limited
930D
200 CF
925
865
905
735