Vorvakuumanschluss; Rootspumpenanschluss (Nur Rootspumpenvarianten); Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss Und -Steuerung - Edwards Ext406Px Betriebsanleitung

B760-10-882 Issue B
3.3.4

Vorvakuumanschluss

Der Kunde muss für eine sichere Führung der Vorvakuumleitung sorgen, wenn Ölnebel oder
gefährliche Stoffe vorhanden sind.
Die Pumpe darf nicht betrieben oder über eine Druckgaszufuhr mit positivem Druck belüftet
werden, wenn die Vorvakuumleitung nicht vollständig frei ist.
Verwenden Sie die Pumpe nicht mit einem Vorvakuumdruck unter 5 x 10
Vorvakuumdruck erhöht die Verdampfungsrate des Schmieröls und verkürzt so die Lebensdauer der Lager.
Schließen Sie den KF25-Flansch des Vorvakuumanschlusses mit geeigneten Vakuumrohren und Verbindungselementen
an die Vorvakuumpumpe an. Verwenden Sie, sofern erforderlich, einen Schlauch oder Faltbälge, um die Übertragung
von Schwingungen von der Vorvakuumpumpe auf die Pumpe zu verringern.
Die Pumpe ist für die Verwendung mit Drehschieber-, Scroll- oder Membran-Vorvakuumpumpen von Edwards
geeignet. Die Systemleistung hängt von der verwendeten Pumpe ab. Edwards empfiehlt, eine Beratung von Edwards
in Anspruch zu nehmen, um die für die jeweilige Anwendung optimal geeignete Vorvakuumpumpe auszuwählen.
3.3.5

Rootspumpenanschluss (nur Rootspumpenvarianten)

Während des Betriebs muss der Rootspumpenanschluss entweder mit dem Vakuumsystem verbunden oder
blindgeflanscht sein. Schließen Sie den DN25KF-Flansch des Rootspumpenanschlusses mit geeigneten Vakuumrohren
und Verbindungselementen an das Vakuumsystem an. Der angebrachte Filter soll das Eindringen von Fremdkörpern
verhindern. Beachten Sie auch die erste Warnung in
3.4 Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -steuerung
Um das Vakuumsystem rein zu halten, empfiehlt Edwards, die Pumpe oder das Vakuumsystem bei jedem Abschalten
zu belüften.
Wenn die Pumpe manuell belüftet wird, während sie mit voller Drehzahl läuft, und wenn der Druck zu schnell
ansteigt, kann dies die Lebensdauer der Pumpe verkürzen. Bei Verwendung des mit der Pumpe mitgelieferten
manuellen Belüftungsventils empfiehlt Edwards, die Belüftung zu begrenzen oder das Belüftungsventil erst dann
zu öffnen, wenn die Pumpendrehzahl auf 50 % der vollen Drehzahl zurückgegangen ist.
Nicht von der Vorvakuumleitung aus belüften, da dies zu Verunreinigungen führen kann. Wählen Sie bei
Entlüftung ins Vakuumsystem und Verwendung einer ölgedichteten Drehschieberpumpe als Vorvakuumpumpe
einen Punkt oberhalb der Pumpe, um zu verhindern, dass Öl aus der Vorvakuumleitung zurückströmt.
Tabelle 6 gibt Hinweise zur richtigen Bohrungsgröße des Belüftungsventils für unterschiedliche Vakuumsystem-
Volumina, damit die Belüftungsrate innerhalb der in
Seite 18
WARNUNG
WARNUNG
VORSICHT
Abschnitt 3.3.2.
VORSICHT
Abschnitt 2.3
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mbar (5 x 10 Pa). Ein niedrigerer
dargestellten Grenzen gehalten wird.