Edwards nEXT1230H CF200 NW40 Handbücher

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Edwards nEXT1230H CF200 NW40 Betriebsanleitung (132 Seiten)

Turbomolekularpumpen

Marke: Edwards | Kategorie: Pumpen | Dateigröße: 2.46 MB

Inhaltsverzeichnis

Haftungsausschluss
2
Inhaltsverzeichnis
3
Sicherheit und Compliance
9
Definition von „Warnung" und „Vorsicht
9
Gefahrensymbole
9
Ausgebildetes Personal
10
Wichtige Sicherheitshinweise
11
Mechanische Gefährdung
11
Elektrische Gefährdung
12
Thermische Gefährdung
12
Gefährdung durch Materialien und Substanzen
12
Gefährdung in Zusammenhang mit Sicherheitsbezogenen Maßnahmen und
13
Vorkehrungen
13
Übersicht
14
Bestellinformationen
14
Abbildung 1 Übersicht Modelle Next
15
Motor-Controller
16
Funktionsmerkmale
17
Einstellung der Leistungsgrenze
17
Standby-Drehzahl
17
Timer
17
Analogausgang
18
Optionen für Automatische Belüftung
18
Einstellung der Normaldrehzahl
19
Elektronisches Abbremsen
19
Lager-Überwachung
20
Logikschnittstelle
20
USB-Schnittstelle
21
Parallele Steuerung und Überwachung
21
Überwachung
21
Serielle Steuerung und Überwachung
21
Serielle Steuerung mit Paralleler Überwachung
22
Parallele Steuerung mit Serieller Überwachung oder Serieller
22
Konfiguration
22
CAN-Schnittstelle
22
Konfiguration des Motor-Controllers (Serielle Konfiguration)
23
Technische Daten
24
Betriebs- und Lagerungsbedingungen
24
Allgemeine Technische Daten
24
Saugvermögenskurven
27
Abbildung 2 Saugvermögen für Next730D
27
Abbildung 3 Saugvermögenskurven für Next930D
27
Abbildung 4 Saugvermögenskurven für Next1230H
28
Abbildung 5 Maßzeichnung für Next730-930D
29
Abbildung 6 Maßzeichnung für Next1230H
30
Pumpmedien
31
Belüftungsgas-Spezifikationen und Daten zur Belüftungsregelung
32
Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien
33
Spülgas-Spezifikation
33
Wasserkühlung
33
Abbildung 7: Maximal Zulässige Druckanstiegsgeschwindigkeit Beim Belüften: Druck über
33
Abbildung 8: Maximale Relative Luftfeuchtigkeit, um eine Kondensation bei der
34
Abbildung 9 Kühlanforderungen für Next730D/930D
35
Elektrische Daten
36
Abbildung 10 Kühlanforderungen für Next1230H
36
Anschluss der Logik-Schnittstelle
37
Abbildung 11 Schnittstellenschaltungen für Next-Turbopumpen-Controller
39
Serielles Protokoll
40
Verfügbare Befehle
41
Multidrop-Betrieb
49
Abbildung 12: Prinzipieller Schaltplan für einen Multidrop-Anschluss über die RS232
49
Aux-Anschlussbuchse des Motor-Controllers
50
Abbildung 13 RS485-Multidrop-Anschluss
50
Anzeige-Leds
51
Abbildung 14 Ventilanschluss
51
Installation
53
Auspacken und Überprüfen
53
Anschluss an das Vakuumsystem
54
Abbildung 15 Typisches Pumpsystem mit einer Next-Pumpe
54
Entfernen/Austausch des Ansaugsiebes
55
Abbildung 16 Anschluss- und Bedienelemente
55
Einbaulage
56
Abbildung 17 Montageausrichtung für Next1230H
56
Abbildung 18 Montageausrichtung für Next1230H INV
56
Montage der Pumpe
57
Vorvakuumanschluss
58
Spülgasanschluss
58
Empfohlener Spülgasdurchsatz
58
Anschließen des Spülgases
59
Elektroinstallation
59
Erdungs-(Masse-)Anschlüsse
60
TIC- oder TAG-Logik-Schnittstellen-Anschlüsse
60
Anschließen der Logik-Schnittstelle an die Steuereinrichtung
60
Abbildung 19 Controller-Ansicht
60
Anschließen der Stromversorgung
61
Anschluss der Parallelen Steuerung und Überwachung
62
Abbildung 20 Stromversorgungsanschluss
62
Abbildung 21 Anschlüsse der Logik-Schnittstelle - Parallele Steuerung
63
Anschluss für die Serielle Steuerung und Überwachung
64
Anschließen der Seriellen Schnittstelle an das Kundeneigene Steuergerät
64
Abbildung 22 Vereinfachte Anschlüsse der Logik-Schnittstelle - Parallele Steuerung
64
Abbildung 24 Anschlüsse der Logik-Schnittstelle - Serielle RS485-Steuerung
65
Serielle Aktivierung („Serial Enable")
66
Verbindung für Gemischten Parallelen und Seriellen Betrieb
66
Kühlung
67
Kühlungsanforderungen
67
Abbildung 25: Anschluss der Logik-Schnittstelle - Gemischter Paralleler und Serieller
67
Druckluftkühlung
68
Wasserkühlung
69
Abbildung 26 Anbringen der Wasserkühlung
69
Konfiguration
71
Konfiguration der Pumpe mit Seriellen Befehlen
71
Meldungsstruktur
72
Liste der Befehle und Antworten - Definitionen
72
Einstellung der Leistungsgrenze
73
Stromversorgung eines Lüfters über den Motor-Controller
74
Optionen für die Geregelte Belüftung
74
Einstellung der Standby-Drehzahl
75
Einstellung der Normaldrehzahl
76
Timer-Einstellung und -Optionen
76
Optionen für Analogsignal
77
Elektronische Bremsoptionen
78
Werkseitige Einstellungen
78
Zuweisen einer Multidrop-Adresse
79
Konfiguration der Pumpe mit einem TIC
80
Betrieb
81
Vor dem Einschalten der Pumpe
81
Schließen des Belüftungsventils
81
Vor-Startsequenz
81
Belüftungsoptionen, Belüftungsventilanschluss und -Steuerung
82
Manuelles Belüftungsventil
82
Elektromagnetisches Belüftungsventil TAV5 oder TAV6
82
Steuerung Belüftungsventil
83
Anschluss eines anderen Ventils an das Vakuumsystem
85
Betrieb mit Paralleler Steuerung und Überwachung
86
Starten der Pumpe mit der Parallelen Steuerung
86
Betreiben Sie die Pumpe mit Standby-Drehzahl und Paralleler Steuerung
86
Abschalten der Pumpe mit der Überwachung über die Parallele Schnittstelle
87
Parallele Überwachung
87
Betrieb mit Serieller Steuerung und Überwachung
87
Verzögerter Start mit Serieller Steuerung
87
Starten Sie die Pumpe mit der Seriellen Steuerung
88
Betreiben Sie die Pumpe mit Standby-Drehzahl und Serieller
88
Steuerung
89
Halten Sie die Pumpe mit der Seriellen Steuerung an
89
Überwachung der Temperaturwerte mit Serieller Steuerung
89
Überwachung der Verbindungsparametereinstellungen mit Serieller
89
Überwachen der Gemessenen Motordrehzahl mit Serieller Steuerung
89
Gemischter Paralleler und Serieller Betrieb
90
Betrieb mit einem TIC oder TAG
92
Verlangsamen und Belüften
92
Abbildung 27 Serielle und Parallele Steuerung - Flussdiagramm
92
Betrieb unter Extremen Bedingungen
93
Betrieb mit Hohem Einlassdruck
93
Betrieb bei Hohen Temperaturen
93
Schutz vor Überdrehzahl
93
Fehler in der Stromversorgung
94
Ausheizen
96
Manuelles Ausschalten der Pumpe
96
Wartung
98
Lagerwartung
99
Lebensdauer des Rotors
99
Reinigen der Pumpe
99
Entschlüsseln der Servicestatus-Wörter
100
Controller-Laufzeit
101
Pumpenlaufzeit
102
Pumpzyklen
102
Lagerlaufzeit
102
Lagerung
103
Entsorgung
104
Fehlersuche
105
Befehlssatz Fehlercodes
109
Blinksignale für Wartung
110
Blinksignal-Fehlercodes
110
Blinksignal-Codes für Wartung Aufgrund von Inaktivität (Blaue Lager-LED)
111
Entschlüsseln der Systemstatus-Wörter
112
Service-Informationen
115
Kundendienst
116
Rücksendung von Ausrüstung oder Bauteilen an den Kundendienst
116
System zur Überwachung und Aufbereitung der Lager
117
Vor-Ort-Wartung des Lagers
118
Modus „Bearing Run in Mode
118
Kundendienst-Zähler Zurücksetzen
119
Ersatzteile
120
Ansaugsieb
120
HV-Flansch-Dichtungen und Integrierte Ansaugsiebe
120
Zubehör
121
Luftkühler
122
Wasserkühler
122
Flanschheizung
122
Belüftungsventile TAV5 und TAV6
123
VRX-Belüftungsdrossel
123
Belüftungsanschluss-Adapter
124
PRX-Spülgas-Drosselventil
124
Schnittstellenkabel
124
Nst2 PC-Programm
124
Hilfsklemme
125
Zusätzliches Verlängerungskabel
125
Hilfs-„Y"-Kabeladapter
125
Stromversorgungsgerät EPS 800
126
EU-Konformitätserklärung
128

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