Das Sieb schützt die Pumpe vor Verschmutzungen. Entfernen Sie das Ansaugsieb erst,
wenn die Pumpe am System angeschlossen wird.
1.
Um das Ansaugsieb aus einer Pumpe mit CF-Hochvakuumflansch zu entfernen,
hebeln Sie es vorsichtig mit einem gebogenen Draht oder einem kleinen
Schraubendreher aus dem Hochvakuumflansch.
2.
Um das Ansaugsieb zu ersetzen, legen Sie es so mittig wie möglich über den CF-
Hochvakuumflansch, verteilen Sie Ihre Finger gleichmäßig rund um den Rand des
Siebs und drücken Sie es fest nach unten.
Wenn die Angeln noch nicht korrekt sitzen, müssen sie mit Hilfe eines geeigneten
Werkzeugs, mit dem sie in die korrekte Position gedrückt werden, in die Arretiernut im
Hochvakuumflansch eingerastet werden.
Für Pumpen mit ISO-Flanschen liefert Edwards eine Kombination aus Ansaugsieb/O-Ring
mit Zentrier- und Außenring.
5.2.2 Einbaulage
nEXT730D- und 930D-Pumpen können in beliebiger Ausrichtung montiert werden,
nEXT1230H-Pumpen können
▪
horizontal oder vertikal, mit dem Hochvakuumflansch oben und in beliebiger
Ausrichtung dazwischen oder
Abbildung 17 Montageausrichtung für nEXT1230H
▪
waagerecht oder senkrecht, mit dem Hochvakuumflansch auf der Unterseite und in
beliebiger Ausrichtung dazwischen (INV-Ausführungen) montiert werden
Abbildung 18 Montageausrichtung für nEXT1230H INV
HINWEIS: BESCHÄDIGUNG DER PUMPE
Die Pumpe kann beschädigt werden, wenn sie in der falschen Ausrichtung betrieben
wird.
Beachten Sie den Aufkleber auf der Pumpe und installieren Sie die Pumpe nur in der
zulässigen Ausrichtung.
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B8J200882_D - Installation
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