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Pumpmedien - Edwards Next730D Betriebsanleitung

Turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

4.3 Pumpmedien

WARNUNG: GEFÄHRLICHE STOFFE
Aus dem Auspuff und aus undichten Stellen des Vakuumsystems können geförderte
Prozessgase austreten.
Bei Servicearbeiten darauf achten, dass toxische Ablagerungen in der Pumpe
vorhanden sein können. Gesundheitsgefahr durch Gase, Dämpfe und gefährliche
Stoffe.
Das Fördern toxischer/explosiver/zündfähiger/pyrophorer/radioaktiver/
oxydierender/korrosiver Gase oder Gasgemische sowie Sauerstoff von mehr als
Atmosphärenkonzentration (21 %) ist grundsätzlich verboten. Für die Einschätzung
des Gefährdungspotenziales der Prozessmedien oder Gemische ist der Betreiber
verantwortlich.
WARNUNG:
Gefährliche Gase und Gasgemische sicher abführen. Menschen dürfen diesen Gasen
nicht ausgesetzt werden. Beachten Sie beim Pumpen gefährlicher Gase oder Dämpfe
die vom Lieferanten des Gases/Dampfes angegebenen Sicherheitsempfehlungen.
WARNUNG:
Verwenden Sie die Pumpe nicht zum Pumpen von Quecksilberdämpfen und sorgen
Sie dafür, dass kein Quecksilber (z. B. aus einer McLeod-Messröhre) mit der Pumpe in
Berührung kommt. Dies kann zu Korrosion und zum Ausfall des Pumpenrotors führen.
VORSICHT:
Verwenden Sie die Pumpe nicht zum Pumpen von Partikeln oder von
kondensierbaren Medien. Dies kann zu Ablagerungen in der Pumpe führen und so die
Leistung der Pumpe beeinträchtigen oder ihre Lebensdauer verkürzen.
Hinweis:
Gaskonzentrationen können durch den Verdichtungsdruck der Pumpe verändert werden.
Die Pumpe ist auf das Pumpen der unten aufgelisteten Gase ausgelegt: Wenn ein zu
verpumpendes Gas hier nicht aufgeführt ist, wenden Sie sich an Ihren Lieferanten. Wenn
Sie keine Verbindung mit Ihrem Lieferanten aufnehmen, verfällt möglicherweise die
Gewährleistung für die Pumpe. Die Pumpe ist nicht zum Pumpen von aggressiven oder
korrosiven Gasen geeignet.
Das Edwards-Handbuch P40040882 für Vakuumpumpen und Sicherheit von
Vakuumsystemen enthält Sicherheitsinformationen im Zusammenhang mit der
Spezifikation, der Konstruktion und dem Betrieb von Vakuumpumpen und
Vakuumsystemen.
Luft
Kohlenmonoxid
Neon
B8J200882_D
300812671_001_C3
B8J200882_D - Technische Daten
Seite 31
09/2021 - ©Edwards Limited
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