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nXDS6i
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nXDS20iC
nXDS6iR
nXDS10iR
nXDS15iR
nXDS20iR
Betriebsanleitung
Scroll-Pumpe nXDS
Übersetzung der ursprünglichen Anleitung
A735-01-882
Issue F
Bestellnummer
A735-01-983
A736-01-983
A737-01-983
A738-01-983
A735-02-983
A736-02-983
A737-02-983
A738-02-983
A735-03-983
A736-03-983
A737-03-983
A738-03-983
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Inhaltsverzeichnis
Verwandte Anleitungen für Edwards Scroll-Pumpe nXDS6i
Inhaltszusammenfassung für Edwards Scroll-Pumpe nXDS6i
- Seite 1 A735-01-882 Issue F Betriebsanleitung Scroll-Pumpe nXDS Beschreibung Bestellnummer nXDS6i A735-01-983 nXDS10i A736-01-983 nXDS15i A737-01-983 nXDS20i A738-01-983 nXDS6iC A735-02-983 nXDS10iC A736-02-983 nXDS15iC A737-02-983 nXDS20iC A738-02-983 nXDS6iR A735-03-983 nXDS10iR A736-03-983 nXDS15iR A737-03-983 nXDS20iR A738-03-983 Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
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Seite 2: Konformitätserklärung
Konformitätserklärung Edwards Ltd, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, VK Die folgenden Produkte: Scroll-Pumpe nXDS6i 100-127/200-240 V, 50/60 Hz A735-01-983 Scroll-Pumpe nXDS10i 100-127/200-240 V, 50/60 Hz A736-01-983 Scroll-Pumpe nXDS15i 100-127/200-240 V, 50/60 Hz A737-01-983 Scroll-Pumpe nXDS20i 100-127/200-240 V, 50/60 Hz... -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
Hardwarekonfiguration ....................25 4.4.2 Betrieb ........................25 Automatischer Betrieb ....................26 Verwenden des Gasballastreglers ..................26 4.6.1 Gasballastregler ......................26 Inbetriebnahme ......................26 Erzielen des Endvakuums....................27 Pumpen kondensierbarer Dämpfe..................27 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite i... - Seite 4 Ersatzteile für Einlass-/Auslassfilter................. 43 7.3.6 Austauschsatz für Lager (nicht für Kundendienst)..............44 7.3.7 Auslass- und Gasballastventilsatz ..................44 Vor der Rücksendung von Produkten füllen Sie bitte die am Ende dieses Handbuchs befindlichen HS-Formulare aus. Seite ii © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten.
- Seite 5 Gasballast-Blindadapter ....................41 Schwingungsdämpfer....................41 Einlass-/Auslassfilter ....................41 Auslassdüse ....................... 42 Umrüstsatz für chemische Beständigkeit ................42 Stromkabel ....................... 42 Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller ..............42 Tip Seal-Satz ......................43 Kühlgebläse....................... 43 Gasballastknopf ......................43 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii...
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Seite 6: Titel Der Publikation
Serial Comms Interface Instruction Manual (nXDS-Schnittstelle für serielle Datenübertragung – Betriebsanleitung) A735-01-860 Warenzeichen Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, VK. Seite iv © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 7: Einführung
Einführung Umfang des vorliegenden Handbuchs Dieses Handbuch enthält Anweisungen zum Einbau, Betrieb und zur Wartung von Edwards Scroll-Pumpen der Baureihe nXDS. Die Pumpe muss wie im vorliegenden Handbuch spezifiziert verwendet werden, da anderenfalls der Schutz, den das System bietet, beeinträchtigt werden kann. Dieses Handbuch ist vor Montage und Inbetriebnahme der Pumpe durchzulesen. -
Seite 8: Auswirkungen Der Atex-Richtlinie
Wasserdampf zum Einsatz kommt oder in geringerer Konzentration korrosive Substanzen gepumpt werden müssen. Informationen zum Pumpen entflammbarer Gase erhalten Sie auf 9Anfrage bei Edwards. Der Pumpenkörper besteht aus einer feststehenden und einer orbitierenden Spirale. Der Antrieb der Umlaufspirale erfolgt mit einem Elektromotor über eine Exzenternocke an der Motorantriebswelle. -
Seite 9: Pumpencontroller
Abbildung 1 - Scroll-Pumpe nXDS 1. Aufhängöse 7. 15-poliger Stecker, D-Typ 2. Einlassöffnung DN25KF 8. USB-Anschluss (nur für 3. Gasballastregler Wartungsmodus) 4. Kühlgebläse 9. Bedienfeld 5. Auslass DN25KF 10. Netzstecker 6. Gummifüße 11. Sekundärer Erdungspunkt © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 3... -
Seite 10: Logikschnittstelle
1, Ziffer 3) eingeführt werden. Wahlweise kann auch ein Inertgas wie z. B. Stickstoff über ein geeignetes Außenventil mit passendem Adapter eingeleitet werden. Der Adapter ist als Zubehör erhältlich. Siehe Abschnitt Seite 4 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. - Seite 11 AUTOMATIKANZEIGE. ein- und STOPP- Die Pumpe wird automatisch neu gestartet, wenn die ausschalten TASTE (>8 Sek.) Stromversorgung wiederhergestellt wird. Die Pumpe ist auf eine maximale Drehzahl von 30 Hz eingestellt (Werkseinstellung) © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 5...
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Seite 12: Nxds-Steuerungsmodi
Serielle Steuerung über Handbuch Komm.-Schnittstelle A735-01-860 RS232 oder RS485 Hinweis: Tabelle 1 zeigt zusätzliche Edwards-Produkte, z. B. DX-/nEXT-Turbopumpen und Aktivmessröhren, die mithilfe der oben aufgeführten verschiedenen Steuermethoden gleichzeitig gesteuert werden können. Seite 6 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 13: Technische Daten
Es können auch größere Volumina gepumpt werden, ein längerer Betrieb oberhalb des angegebenen Einlassdrucks kann jedoch die Lebensdauer der Lager verkürzen. Die nXDS20i ist für gleichbleibende Durchsatzraten optimiert und wird nicht für den zyklischen Betrieb empfohlen. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 7... -
Seite 14: Pumpmedien
7 x 10 7 x 10 3 x 10 Endvakuum (mbar) Gasballastregler auf „1“ 5 x 10 4 x 10 4 x 10 6 x 10 Gasballastdurchfluss Gasballastregler auf „1“ (l min Seite 8 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 15: Nxds6I-Leistungsdaten
A735-01-882 Issue F Abbildung 3 - nXDS6i-Leistungsdaten Abbildung 4 - nXDS10i-Leistungsdaten © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 9... -
Seite 16: Nxds15I-Leistungsdaten
A735-01-882 Issue F Abbildung 5 - nXDS15i-Leistungsdaten Abbildung 6 - nXDS20i-Leistungsdaten Seite 10 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 17: Mechanische Daten
10 A, 250 V AC (effektiv) Europa 230 V 10 A, 250 V AC (effektiv) 120 V 10 A, 250 V AC (effektiv) Japan 100 V 10 A, 250 V AC (effektiv) © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11... -
Seite 18: Stromkabel
über einen 15-poligen Logikschnittstellenanschluss (Typ D), der sich auf dem Bedienfeld (Abbildung 1, Ziffer 7) befindet. Am Logikschnittstellenanschluss kann ein Edwards 200W TIC (Turbo Instrument Controller), ein Turbo Controller oder ein Turbo & Active Gauge Controller (TAG) direkt angeschlossen werden. -
Seite 19: Pin-Belegung Für Den Logikschnittstellenanschluss
Tabelle aufgeführt sind. Steuereingang Analoge Analogeingang mit 0 bis 10 V: 0 V = 0 % Drehzahl; +10 V = 100 % Drehzahlsteuerung Drehzahl Chassis / Screen Bildschirm (Baugruppenträger / Bildschirm) © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13... -
Seite 20: Led-Anzeigen
Zeigt an, dass der Automatikmodus ausgewählt wurde. Siehe Abschnitt 4.3. Zeigt an, dass ein neues Wartungsintervall erreicht wurde. Wartungsanzeige Siehe Abschnitt 5.10. Alarmanzeige Zeigt an, dass ein Alarm ausgelöst wurde. Siehe Abschnitt 5.11.6. Seite 14 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 21: Installation
Überlegungen zur Systemkonzeption Beachten Sie bei der Auslegung Ihres Pumpensystems die folgenden Punkte: Edwards empfiehlt die Verwendung eines Absperrventils zur Trennung der Vorvakuumleitung, damit sich die Pumpe vor dem Verpumpen kondensierbarer Dämpfe erwärmen kann, oder zur Aufrechterhaltung des Vakuums, wenn die Pumpe nicht läuft. - Seite 22 A735-01-882 Issue F Abbildung 8 - Installationszeichnung Hinweis: Alle Abmessungen in Millimeter. Die Außenabmessungen sind bei allen Varianten gleich. Seite 16 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 23: Auspacken Und Eingangsprüfung
1. Bevor Sie die Pumpe an das Vakuumsystem anschließen, entfernen Sie die Kunststoffkappe vom Ein- und Auslass, und vergewissern Sie sich, dass der Einlassfilter an die Einlassöffnung der Pumpe angebracht wurde. Verwenden Sie die entsprechenden DN25KF-Vakuumarmaturen zum Anschluss an Ihr System. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17... -
Seite 24: Elektroinstallation
Um die Pumpe im Falle eines Kurzschlusses zwischen Nulleiter und Masse (Erdung) vor Schäden zu schützen, sollte ein externes RCD installiert werden. Die empfohlenen Sicherungswerte finden Sie in Abschnitt 2.4, Tabelle Seite 18 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 25: Anschließen An Die Stromversorgung
Wenn Sie die Pumpe über die parallele Hardware-Schnittstelle steuern möchten, finden Sie dazu weitere Informationen in Abschnitt 4.3. Zur Verwendung der seriellen Schnittstelle oder zur Arbeit mit einer Mischung aus paralleler und serieller Steuerung vgl. Handbuch A735-01-860. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19... - Seite 26 A735-01-882 Issue F Diese Seite bleibt frei. Seite 20 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 27: Betrieb
Sie nur im gleichen Modus angehalten werden, in dem sie gestartet wurde; es sei denn sie wird durch Trennung von der Stromversorgung aus- und wieder eingeschaltet. Manueller Betrieb Die Steuerungsfunktionen der Pumpe über das Bedienfeld werden in Abbildung 9 ausführlich erläutert. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21... -
Seite 28: Ein- Und Ausschalten
Taste um 1 % pro Sekunde. Sobald die Drehzahl eingestellt ist, wird die Pumpe auf die neu festgelegte Drehzahl gesetzt, wenn die Standbydrehzahl ausgewählt wird. Vor der Rückkehr zur normalen Drehzahl muss die Standby-Taste betätigt werden. Seite 22 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 29: Parallele Steuerung Und Überwachung
Pin 2 des Anschlussgegenstücks der Logik-Schnittstelle. Über diesen Ausgang können andere Einrichtungen in dem Pumpsystem gesteuert werden. Der Ausgang kann ein Relais mit geringer Leistung mit einem Spulen-Nennwert von maximal 24 V (max. 10 mA) ansteuern. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23... -
Seite 30: Analoge Drehzahlsteuerung
Betriebsdrehzahlen verwendet werden kann. Diese Möglichkeit zur Drehzahlsteuerung ist ein Alternative zur Steuerung der Standbydrehzahl. Abbildung 11 - Anschlüsse der Logikschnittstelle – analoge Drehzahlsteuerung 1. Start-Schalter 2. Analoger Steuerschalter 3. Logikschnittstelle der nXDS-Pumpe 0,1 V 1 % der Standardbetriebsdrehzahl Hinweis: Seite 24 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 31: Hardwarekonfiguration
Drehzahleinstellung gebunden, d. h. sie liegt bei etwa 67 % der Standard-Betriebsdrehzahl von 20 Hz. Die maximale Drehzahl, die die analoge Drehzahlsteuerung bereitstellt, wird bei der maximalen Drehzahleinstellung, d. h. ~100 % der Standarddrehzahl (30 Hz), gesperrt. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 25... -
Seite 32: Automatischer Betrieb
Pumpe im manuellen Steuermodus befindet (siehe Abbildung 9), der Start-/Stopp-Steuereingabe im parallelen Steuermodus (siehe Tabelle 12, Pin 3) oder einem Start-Befehl im seriellen Steuermodus. 5. Öffnen Sie ggf. das Absperrventil des Vakuumsystems. Seite 26 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 33: Erzielen Des Endvakuums
9), der Start-/Stopp-Steuereingabe im parallelen Steuermodus (siehe Tabelle 12, Pin 3) oder einem Stopp-Befehl im seriellen Steuermodus. 4. Belüften Sie das nXDS-Pumpensystem mithilfe der Gasballastregelung oder dem Einlassventil. 5. Trennen Sie den Netzanschluss. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27... - Seite 34 A735-01-882 Issue F Diese Seite bleibt frei. Seite 28 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 35: Wartung
Zwecke genutzt wurde oder wenn sie Feuer ausgesetzt war. Sicherheits-Datenblätter für die in der Pumpe verwendeten fluorierten Stoffe sind auf Anfrage erhältlich. Wenden Sie sich hierzu an Ihren Lieferanten oder an Edwards. VORSICHT Die Außenflächen der Pumpe können mit einem feuchten Tuch gereinigt werden. Gehen Sie bei Verwendung von Reinigungsflüssigkeiten auf Lösungsmittelbasis vorsichtig vor, um keine wichtigen Beschriftungen von... -
Seite 36: Wartungsplan
Wenn Sie einen präventiven Wartungsplan nutzen, ist möglicherweise bereits jetzt ein Austausch der Tip Seals angebracht, auch wenn die Pumpenleistung nicht beeinträchtigt wird. Informationen zum Rücksetzen der Wartungsanzeige finden Sie in Abschnitt 5.10. Seite 30 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 37: Auswechseln Der Tip Seals
Auswechselns der Lager. Edwards hat ein ausführliches Wartungshandbuch sowie ein Anleitungsvideo entwickelt (Edwards-Bestellnummer A73501713), das es erfahrenen Technikern ermöglicht, diese Arbeiten durchzuführen. Edwards bietet bei Bedarf auch persönliche Schulungen an. Wenden Sie sich an Edwards, um weitere Informationen zu erhalten oder eine Schulung zu bestellen. -
Seite 38: Codes Der Wartungsanzeige
Die Auslassleitung ist verstopft oder steht unter zu hohem Druck. Die Pumpe enthält Spuren von Prozessdämpfen; lassen Sie die Pumpe 12 Stunden lang mit Gasballast laufen. Die Pumpe arbeitet außerhalb der vorgegebenen Betriebsbedingungen. Seite 32 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 39: Die Pumpe Zeigt Ein Schwaches Endvakuum
Die Oberflächentemperatur der Pumpe ist hoch Die Umgebungstemperatur ist zu hoch. Der Kühllüfter läuft nicht. Das Prozessgas ist zu heiß, oder es wurde der maximale kontinuierliche Betriebsdruck überschritten. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 33... -
Seite 40: Codes Der Alarmanzeige
Softwareproblem an. Schalten Sie die Stromversorgung in diesem Fall aus und wieder ein. Wenn die Anzeige durch das Aus- und Einschalten nicht behoben wird, ist möglicherweise ein Softwaredownload erforderlich. Wenden Sie sich in diesem Fall an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Wenn die Alarmanzeige blinkt, schlagen Sie den Fehlercode in Tabelle 16 nach. -
Seite 41: Blinksignal-Fehlercodes
Fall an Ihren Lieferanten oder an Edwards. sssssL Verriegelung des seriellen Aktivieren Sie den seriellen Betrieb Steuerungsmodus „Serial Enable“ erneut, und senden Sie einen seriellen Befehl, um den Fehlercode zu löschen. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 35... - Seite 42 A735-01-882 Issue F Diese Seite bleibt frei. Seite 36 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 43: Lagerung Und Entsorgung
Entsorgen Sie Pumpe und Pumpenkomponenten gemäß den örtlichen und nationalen Sicherheits- und Umweltschutzvorschriften. Gehen Sie mit Komponenten, die durch gefährliche Prozesschemikalien kontaminiert wurden, besonders vorsichtig um. Flouroelastomerdichtungen und O-Ringe dürfen nicht verbrannt werden. © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 37... - Seite 44 A735-01-882 Issue F Diese Seite bleibt frei. Seite 38 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten.
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Seite 45: Ersatzteile Und Zubehör
Ersatzteile und Zubehör Einführung Produkte, Ersatzteile und Zubehör von Edwards sind über Edwards-Vertretungen in Belgien, Brasilien, China, Deutschland, Frankreich, Großbritannien, Israel, Italien, Japan, der Republik Korea, Singapur, den USA sowie über ein weltweites Vertriebsnetz erhältlich. Die Mehrzahl dieser Unternehmen beschäftigt Wartungstechniker, die umfassende Edwards-Schulungen besucht haben. -
Seite 46: Zubehör
A735-01-882 Issue F Zubehör Abbildung 15 - nXDS-Zubehör 5. Auslassdüse 1. Gasballast-Blindadapter 6. Schwingungsdämpfer 2. Gasballastadapter 7. Umwandlungskit für chemische Beständigkeit 3a+b. Einlass-/Auslassfilter 8. Verbindungskabel zwischen Pumpe und 4. Schalldämpfer Controller (nicht abgebildet) Seite 40 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. -
Seite 47: Schalldämpfer
5 m-Element ausgeliefert. Hinweis: Bei Verbindung des Auslassfilters mit dem Pumpenauslass ist eine DN25KF-/Schlauchdüse, C105-14-328, für den Anschluss an den Staubfilterauslass erhältlich. Tabelle 21 - Einlass-/Auslassfilter Produktbeschreibung Bestellinformationen Einlass-/Auslassfilter DN25KF/DN25KF A505-97-805 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 41... -
Seite 48: Auslassdüse
7.2.9 Verbindungskabel Pumpe-Controller Verwenden Sie das Steuerkabel, um die nXDS-Pumpe mit einem Turbo Instrument Controller (TIC), TIC Turbo Controller oder Turbo & Active Gauge Controller (TAG) von Edwards zu steuern. Tabelle 25 - Verbindungskabel zwischen Pumpe und Controller Produktbeschreibung Bestellinformationen... -
Seite 49: Ersatzteile
Tabelle 29 - Ersatzteilsatz für Schalldämpfer Produktbeschreibung Bestellinformationen Ersatzteilsatz für Schalldämpfer A505-97-800 7.3.5 Ersatzteile für Einlass-/Auslassfilter Austauschelemente für den Einlass-/Auslassfilter A505-97-805. Tabelle 30 - Ersatzteile für Einlass-/Auslassfilter Produktbeschreibung Bestellinformationen 5 Micron-Element A505-97-802 1 Micron-Element A505-97-803 © Edwards Limited 2018. Alle Rechte vorbehalten. Seite 43... -
Seite 50: Austauschsatz Für Lager (Nicht Für Kundendienst)
A735-01-882 Issue F 7.3.6 Austauschsatz für Lager (nicht für Kundendienst) Zum Austausch, wenn die Pumpe ein langes Wartungsintervall erreicht hat. Details zu den Optionen dieser Edwards- Schulung finden Sie in Abschnit 5.7. Tabelle 31 - Austauschsatz für Lager Produktbeschreibung Bestellinformationen Austauschsatz für Lager... -
Seite 51: Rücksendung Von Ausrüstung Oder Komponenten An Den Kundendienst
Sie die Anweisungen in HS1, füllen Sie das elektronische HS2-Formular aus, drucken Sie es aus, unterschreiben Sie es und senden Sie die unterschriebene Kopie an Edwards zurück. Hinweis: Wenn wir kein ausgefülltes HS2-Formular erhalten, akzeptieren wir die Rückgabe der... - Seite 52 edwardsvacuum.com...