Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Zubehör - Edwards nEXT730D Betriebsanleitung

Turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis

Werbung

14. Zubehör
Luftkühler
122
Wasserkühler
te 122
Flanschheizung
Seite 122
TAV-Belüftungsventil
Belüftungsventile
TAV5 und TAV6
Seite 123
VRX-Belüftungsdros-
sel
auf Seite 123
Belüftungsanschluss-
Adapter
PRX-Spülgas-Drossel-
ventil
auf Seite 124
Schnittstellenkabel
auf Seite 124
nST2 PC-Programm
auf Seite 124
Aux-Anschluss
klemme
Zusätzliches Verlänge-
rungskabel
125
Hilfs-„Y"-Kabeladap-
ter
auf Seite 125
B8J200882_D
300812671_001_C3
B8J200882_D - Zubehör
auf Seite
Der Luftkühler ist mit einem vorverdrahteten Anschluss direkt
zu einem Aux-Anschluss am Controller erhältlich.
auf Sei-
An die Pumpe kann ein Wasserkühler montiert werden, wenn
eine Wasserzufuhr verfügbar ist.
auf
Eine nXT-Flanschheizung beschleunigt die Entgasung der Pum-
pe und ermöglicht, niedrigere Druckwerte zu erzielen. Sie kann
auch zum Schutz der Pumpe vor Kondensation von Verunreini-
gungen eingesetzt werden.
Zum Belüften des Systems stehen 24 V-DC-TAV-Magnet-Belüf-
tungsventile zur Verfügung; diese sind entweder Ventile N/O
auf
(im Ruhezustand geöffnet) oder N/C (im Ruhezustand geschlos-
sen).
Verwenden Sie eine VRX-Belüftungsdrossel mit fester Bohrung,
um den Durchsatz von Belüftungsgas in die Pumpe zu begren-
zen.
Der Belüftungsanschluss-Adapter hat ein 1/8 Zoll BSP-Rohrge-
auf Seite 124
winde, das sowohl in den Belüftungs- als auch den Spülan-
schluss eingeschraubt werden kann und diese so für DN10KF-
Bauteile geeignet macht.
Das PRX10 ist ein modifizierter DN10KF-Zentrierring, der das
Spülgas filtert und seinen Durchsatz auf den empfohlenen Wert
von 25 sccm begrenzt. Um ein Spülgas-Drosselventil an die
Pumpe anzuschließen, muss ein Belüftungsanschluss-Adapter
am Spülanschluss montiert werden.
Mit einem Schnittstellenkabel wird die nEXT-Pumpe mit einem
PC verbunden. Zur Steuerung und Überwachung der nEXT-Pum-
pe werden dann serielle Befehle verwendet.
Das nST2 PC-Programm ist ein PC-basiertes Softwareprodukt,
das mit der nEXT-Pumpe über die serielle Schnittstelle oder
über den USB-Serviceanschluss verwendet werden kann.
Hilfs-
Ermöglicht die Verwendung von Zubehör, das nicht von vornhe-
auf Seite 125
rein mit einem passenden Stecker ausgestattet ist. Das Kabel ist
1,5 m lang.
Das Kabel erhöht den Abstand vom Zubehör zur Pumpe und
auf Seite
nutzt einen rechtwinkligen Stecker zur Erleichterung der Instal-
lation bei begrenztem Platz. Das Kabel ist 0,2 m lang.
Ermöglicht den gleichzeitigen Betrieb eines TAV-Belüftungsven-
tils und eines Kühllüfters, zweier Kühllüfter oder zweier TAV-Be-
lüftungsventile. Die zwei Anschlüsse des Y-Kabels sind parallel
verdrahtet, so dass jeder davon in genau der gleichen Weise
verwendet werden kann wie der Aux-Anschluss an der Pumpe
selbst.
Seite 121
09/2021 - ©Edwards Limited

Werbung

Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltsverzeichnis