Herunterladen Inhalt Inhalt Diese Seite drucken

Edwards nEXT730D Betriebsanleitung Seite 6

Turbomolekularpumpen
Inhaltsverzeichnis
8. Wartung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 98
8.1 Lagerwartung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
8.2 Lebensdauer des Rotors. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
8.3 Reinigen der Pumpe. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
8.4 Entschlüsseln der Servicestatus-Wörter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 100
8.5 Controller-Laufzeit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 101
8.6 Pumpenlaufzeit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
8.7 Pumpzyklen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
8.8 Lagerlaufzeit. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
9. Lagerung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
10. Entsorgung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 104
11. Fehlersuche. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 105
11.1 Befehlssatz Fehlercodes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 109
11.2 Blinksignale für Wartung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
11.3 Blinksignal-Fehlercodes. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 110
. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 111
11.5 Entschlüsseln der Systemstatus-Wörter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 112
11.6 Service-Informationen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 115
12. Kundendienst. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 116
12.3 Vor-Ort-Wartung des Lagers. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
12.4 Modus „Bearing run in mode". . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 118
13. Ersatzteile. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
13.1 Ansaugsieb. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 120
13.2 HV-Flansch-Dichtungen und integrierte Ansaugsiebe. . . . . . . . . . . . . . . . . 120
14. Zubehör. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 121
14.1 Luftkühler. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
14.2 Wasserkühler. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
14.3 Flanschheizung. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 122
14.4 Belüftungsventile TAV5 und TAV6. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
14.5 VRX-Belüftungsdrossel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 123
14.6 Belüftungsanschluss-Adapter. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
14.7 PRX-Spülgas-Drosselventil. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
14.8 Schnittstellenkabel. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
14.9 nST2 PC-Programm. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 124
B8J200882_D
300812671_001_C3
12.4.1 Kundendienst-Zähler zurücksetzen. . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 119
Seite 6
09/2021 - ©Edwards Limited
Inhaltsverzeichnis
loading

Inhaltsverzeichnis