Steuerung Belüftungsventil - Edwards Next730D Betriebsanleitung

▪ Verwenden Sie ein TAV-Belüftungsmagnetventil, das an einen geeigneten Flansch
des Vakuumsystems angeschlossen wird.
▪ Verwenden Sie alternativ ein anderes ans Vakuumsystem angeschlossenes
Belüftungsventil mit angemessener Einschränkung.
Wenn Sie das TAV-Belüftungsventil verwenden, kann die Pumpe nur dann bei maximaler
Drehzahl voll belüftet werden, wenn das Vakuumsystem ein Volumen von 5 Litern oder
mehr hat.
Wenn das Volumen des Vakuumsystems weniger als 5 Liter beträgt, bauen Sie eine
geeignete Belüftungsdrossel ein und belüften Sie die Pumpe bei maximaler Drehzahl
oder verwenden Sie die Option für geregelte Belüftung.
Öffnung der Belüftungsdrossel bei Belüftung der Vakuumsystemkammer
zur richtigen Bohrungsgröße des Belüftungsventils für unterschiedliche Vakuumsystem-
Volumina, damit die Belüftungsrate innerhalb der in
Daten zur Belüftungsregelung
Hinweis:
Wenn eine Belüftungsdrossel verwendet wird, dauert die Belüftung des Vakuumsystems
unter Umständen unannehmbar lang. Die Zeit kann verkürzt werden, wenn ein
Belüftungsventil ohne Belüftungsdrossel verwendet und gewartet wird, bis die
Pumpendrehzahl auf 50 % der maximalen Drehzahl gesunken ist, bevor das
Belüftungsventil geöffnet wird.
7.2.3 Steuerung Belüftungsventil
Das TAV-Magnetventil kann vom nEXT-Motor-Controller oder von einem Edwards TIC
Turbo Instrument Controller gesteuert werden.
Der nEXT-Controller kann die Belüftungsrate steuern anhand der
Belüftungsventiloptionen in der
Funktion kann die Pumpe von der maximalen Drehzahl kontrolliert so belüftet werden,
dass das Pumpenlager nicht beschädigt wird. Sobald die Pumpendrehzahl auf unter 50 %
der Maximaldrehzahl gesunken ist, kann die Pumpe gefahrlos voll belüftet werden
(Belüftungsventil vollständig geöffnet), sofern die Vorvakuumpumpe eingeschaltet bleibt
und das Vorvakuumventil offen ist.
Zur Verwendung der nEXT-Controllerfunktion verfügt der nEXT-Turbopumpencontroller
über eine 4-polige Aux-Anschlussbuchse an der Seite der Pumpe, siehe Kreis in , an die
das Belüftungsventil mit angebrachtem Aux-Anschluss angeschlossen wird.
Der Controller kann eine Vielzahl unterschiedlicher Belüftungsoptionen steuern. Diese
sind definiert in der
Der Controller ist für im Ruhezustand geöffnete und für im Ruhezustand geschlossene
Belüftungsventile geeignet. Diese sind definiert in der
muss nach Änderung des Ventiltyps aus- und wieder eingeschaltet werden, bevor der
Schaltkreis des Aux-Ausgangs an die Änderung angepasst ist.
Tabelle 19 Belüftungsventiloptionen
Nr. der Opti‐
on
0
B8J200882_D
300812671_001_C3
B8J200882_D - Betrieb
auf Seite 32 dargestellten Grenzen gehalten wird.
Tabelle:
Tabelle: Belüftungsventiloptionen.
Beschreibung der Belüftungsfunktion
Belüftungsventil öffnet sich vollständig unter 50 % der maximalen
Drehzahl bei einem Stopp-Befehl oder einem Fehlerzustand.
Seite 83
Tabelle: Durchmesser der
Belüftungsgas-Spezifikationen und
Belüftungsventiloptionen. Mithilfe dieser
Tabelle: Ventiltypen. Die Pumpe
09/2021 - ©Edwards Limited
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