Verwandte Anleitungen für Edwards nXR30i
Inhaltszusammenfassung für Edwards nXR30i
- Seite 1 Trockenlaufende Vakuumpumpen nXR30i, nXR40i, nXR60i, nXR90i und nXR120i BETRIEBSANLEITUNG A90301882_C Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
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Seite 2: Haftungsausschluss
Hinweis zum Urheberrecht ©Edwards Limited 2021. Alle Rechte vorbehalten. Markenrecht Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited, Innovation Drive, Burgess Hill, West Sussex, RH15 9TW, Großbritannien. Haftungsausschluss Änderungen am Inhalt dieser Betriebsanleitung können von Zeit zu Zeit ohne Vorankündigung vorgenommen werden. -
Seite 3: Inhaltsverzeichnis
6.7 Betriebsmodi........... 35 A90301882_C Seite 3 08/2021 - ©Edwards Limited... - Seite 4 11.5 Montagesatz........... 51 A90301882_C Seite 4 08/2021 - ©Edwards Limited...
- Seite 5 Abbildung 6: nXR30i-Leistungskurve........
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Seite 6: Sicherheit Und Compliance
Eine Änderung der Konstruktion und der angegebenen Daten behalten wir uns vor. Die Abbildungen sind unverbindlich. Die Betriebsanleitung für künftige Verwendung aufbewahren. 1.2 Gefahrensymbole Die Gefahrensymbole auf den Produkten kennzeichnen Bereiche, in denen Sorgfalt und Aufmerksamkeit erforderlich sind. A90301882_C Seite 6 08/2021 - ©Edwards Limited... - Seite 7 Massepunkt für elektrische Geräte. WEEE-Symbol Die Gerätschaft muss umsichtig entsorgt werden. Halten Sie die örtlichen und landesweit geltenden Vorschriften zur Entsorgung dieser Gerät- schaft ein. Warnung – Schutzausrüstung verwenden Angemessene Schutzausrüstung für die Aufgabe verwenden. A90301882_C Seite 7 08/2021 - ©Edwards Limited...
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Seite 8: Allgemeine Beschreibung
PFPE-Schmiermittel verwendet, das sowohl im Getriebe als auch an den Motorenden des Pumpenmoduls enthalten ist. Diese sind „dauergedichtet“ und das Schmiermittel muss erst ausgetauscht werden, wenn das Wartungsintervall der Pumpe erreicht ist. A90301882_C Seite 8 08/2021 - ©Edwards Limited... - Seite 9 Sie sich bitte an Ihren Lieferanten. Wenn Sie keine Verbindung zu Ihrem Lieferanten aufnehmen, erlischt möglicherweise die Gewährleistung für die Pumpe. Verwenden Sie die Pumpe nicht zum Pumpen von aggressiven oder korrosiven Gasen. A90301882_C Seite 9 08/2021 - ©Edwards Limited...
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Seite 10: Pumpen-Controller
Pumpe. Der Pumpen-Controller steuert die Stromversorgung des Motors für die jeweiligen Betriebsbedingungen. Das Schnittstellenbedienfeld ist am Pumpen-Controller angebracht. Die Pumpe kann wie folgt betrieben werden: ▪ manuell, mit den Tasten am Bedienfeld der Benutzerschnittstelle. Siehe Abbildung: Schnittstellenbedienfeld. A90301882_C Seite 10 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 11: Schnittstellenbedienfeld
Der Aux-Anschluss ist zur Steuerung der Zubehörgeräte auf 24 V DC reguliert. Wenn der Hilfslaststrom den Wert in Tabelle: Hilfslaststromwerte überschreitet, wird der Ausgang abgeschaltet, um den Pumpen-Controller zu schützen. Siehe Tabelle: Empfohlene passende Stecker bezüglich Empfehlungen zu den passenden Steckern. A90301882_C Seite 11 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 12: Logik-Schnittstelle
▪ Status-Ausgänge: geben den Status des Systems an Wählen Sie für die serielle Steuerung RS232 oder RS485. Siehe Handbuch A73501860 zur seriellen Schnittstelle. Die Steuerungsmodi finden Sie in der Tabelle: Manueller Steuerungsmodus. A90301882_C Seite 12 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 13: Automatischer Betrieb
Tasten am Bedienfeld der Benutzerschnittstelle. Siehe Abbildung: Schnittstellenbedienfeld. ▪ ferngesteuert per serieller Kommunikation oder mit digitaler und analoger Prozesssteuerung (parallel) über den 15-poligen D-Typ-Schnittstellenanschluss. Siehe Anschluss für Fernsteuerung und Überwachung auf Seite 25. A90301882_C Seite 13 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 14: Technische Daten
Gesamtabmessungen (L x B x H) 478 x 217 x 301 494 x 217 x 301 mm Maximaler Neigungswinkel für den Be- ± 5° trieb Maximaler Neigungswinkel für Transport 30° Nenndrehzahl 15000 U/min Auslassanschluss NW25 A90301882_C Seite 14 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 15: Leistung
Maximaler Druckanstieg bei Stopp, kein mbar Einlass- oder Gasballastfluss Maximal zulässiger Gasballasteinlass- druck (mit montiertem Gasballastadap- bar(g) ter) Gasballastdurchfluss l/min Maximale Wasserdampf-Pumprate (mit kg/h angewendetem Gasballast) Typischer Enddruck mit Gasballast mbar < 0.1 A90301882_C Seite 15 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 16: Abbildung 5 Nxr120I-Anwendungsrichtlinien Für Das Abpumpen Von Kammern
Pumpe entfernt im freien Raum Gemessener Emissions-Schalldruckpegel (mit A-Gewichtung), L bei 15 mbar am Einlass, 57,0 dB(A) 1 m von der Pumpe entfernt im freien Raum Unsicherheit, K 2,5 dB(A) Produkt getestet nach ISO-Norm 3744:2010 A90301882_C Seite 16 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 17: Abbildung 8 Nxr60I-Leistungskurve
A90301882_C - Technische Daten Abbildung 6 nXR30i-Leistungskurve 1200 1000 nXR30i 0.01 1000 Druck ( mbar) 1. Saugvermögen mit Gasballast 1. Saugvermögen mit Gasballast 2. Saugvermögen ohne Gasballast 2. Saugvermögen ohne Gasballast 3. Stromverbrauch mit Gasballast 3. Stromverbrauch mit Gasballast 4. Stromverbrauch ohne Gasballast 4. -
Seite 18: Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien
Niederspannungsbereichen, begrenzt das Produkt die maximal an den Pumpenmotor abgegebene Leistung. Wenn die Anwendungslast die maximal verfügbare Leistung überschreitet, wird die Pumpendrehzahl reduziert. Siehe Abbildung: Drehzahl-Leistungs- Diagramm. Bei niedrigeren Drehzahlen wird die Pumpleistung beeinträchtigt, das A90301882_C Seite 18 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 19: Abbildung 11 Diagramm Drehzahl Vs. Leistung
10 A, 250 V AC (effektiv) 120 V 15 A, 250 V AC (effektiv) Japan 100 V 15 A, 250 V AC (effektiv) Abbildung 11 Diagramm Drehzahl vs. Leistung 200V/100VRMS 190V/95VRMS 180V/90VRMS 1000 1200 Maximale Leistung (W) A90301882_C Seite 19 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 20: Installation
WARNUNG: ABGASLEITUNG BLOCKIERT Gefahr von Beschädigungen des Geräts. Stellen Sie sicher, dass die Abgasleitung nicht blockiert ist. Wenn ein Abgas-Absperrventil verwendet wird, stellen Sie sicher, dass die Pumpe nicht mit geschlossenem Ventil betrieben wird. A90301882_C Seite 20 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 21: Auspacken Und Überprüfen
Verletzungsgefahr. Verwenden Sie geeignete Ausrüstung zum Heben der Pumpe. WARNUNG: LOSE KABEL/ROHRLEITUNG Stolpergefahr. Stellen Sie sicher, dass alle Kabel und/oder Rohrleitungen, die an der Pumpe befestigt sind, sorgfältig befestigt sind, um Rutsch-/Stolpergefahr und Schäden am Kabel zu vermeiden. A90301882_C Seite 21 08/2021 - ©Edwards Limited... - Seite 22 Stellen Sie sicher, dass der Zugang zum Stromversorgungskabel der Pumpe oder zu den anderen Steuerelementen nicht behindert wird. ▪ Stellen Sie sicher, dass an allen Seiten der Pumpe mindestens 100 mm Raum für eine effektive Luftzirkulation bleibt. A90301882_C Seite 22 08/2021 - ©Edwards Limited...
- Seite 23 Wenn Sie ein Abgasabsaugsystem verwenden, stellen Sie sicher, dass es für die Verwendung mit allen gepumpten Prozessgasen geeignet ist. Achten Sie darauf, dass das Abgasabsaugsystem bei laufender Pumpe nicht blockiert oder verstopft werden kann. A90301882_C Seite 23 08/2021 - ©Edwards Limited...
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Seite 24: Lecktest Des Systems
(200 – 240 V) oder 15-A-Abzweigsicherungsschutz (100 – 127 V) geschützt werden. WARNUNG: ELEKTRISCHER ANSCHLUSS Stromschlaggefahr. Stellen Sie sicher, dass die Pumpe ausgeschaltet und nicht an die Stromversorgung angeschlossen ist, wenn Sie die Netzspannung auswählen. A90301882_C Seite 24 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 25: Pumpenspannungseinstellung
Einzelheiten zu den Pins der Logikschnittstelle. Die Pumpe ist außerdem mit einem USB-Anschluss vorn mit serieller Kommunikation ausgestattet. Dieser Anschluss kann nicht für den Pumpenbetrieb, sondern zum Einstellen und Lesen von Parametern und zur Pumpenüberwachung verwendet werden. A90301882_C Seite 25 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 26: Inbetriebnahme Der Pumpe
Wenn das Problem nicht behoben wurde, wenden Sie sich an uns. Nach der Inbetriebnahme des trockenlaufenden Pumpensystems: Zur Fortsetzung des Systembetriebs siehe Starten der Pumpe auf Seite 36. Zum Ausschalten des Systems siehe Ausschalten der Pumpe auf Seite 36. A90301882_C Seite 26 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 27: Bedienung
Nach dem Start kann die Pumpe, ausgenommen im Automatikmodus, nur mit der Schnittstelle, die für den Start verwendet wurde, angehalten werden. Im Automatikmodus übersteuert die Stopp-Taste an der Schalttafel der Benutzerschnittstelle die Start-Schnittstelle und hält die Pumpe an. A90301882_C Seite 27 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 28: Betriebsmodi
Maximalwert von 100 % erreicht. verringern Taste zum Ver- Die Pumpendrehzahl wird verringert. ringern der Die Anzeige für die Verringerung der Standby-Drehzahl Standby-Dreh- leuchtet dauerhaft, wenn die Pumpendrehzahl den zahl Minimalwert von 50 % erreicht. A90301882_C Seite 28 08/2021 - ©Edwards Limited... - Seite 29 Stopp-Modus wird die Pumpendrehzahl halbiert und die Drehzahl des Kühllüfters erhöht, um eine kontrollierte Kühlung des Mechanismus zu ermöglichen. Sobald ein vordefiniertes Temperaturniveau erreicht ist, schaltet sich die Pumpe vollständig ab und ist dann für einen Neustart bereit. A90301882_C Seite 29 08/2021 - ©Edwards Limited...
- Seite 30 Sobald die stabile Betriebsdrehzahl erreicht ist, leuchten sowohl die Betriebsdrehzahl- als auch die Stand- by-Anzeige. Wartungsanzeige Zeigt an, dass ein neues Wartungsintervall erreicht wurde. Alarmanzeige Zeigt an, dass ein Alarm ausgelöst wurde. A90301882_C Seite 30 08/2021 - ©Edwards Limited...
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Seite 31: Technische Daten Logik-Schnittstelle
▪ AUS (4,7 k Pull-up und Diode bis 12 V ▪ >Normaldrehzahl ▪ Maximaler Nennstrom ▪ EIN (< 0,8 V DC, Stromaufnahme 10 ▪ Maximale Nennspannung ▪ 10 mA ▪ 28,8 V DC Statusausgabe FAIL: A90301882_C Seite 31 08/2021 - ©Edwards Limited... - Seite 32 Tabelle aufgeführt sind. Analoge Drehzahl – Analogeingang mit 0 bis 10 V: 0 V = 0 % Steuereingang Drehzahl; +10 V = 100 % Drehzahl Baugruppenträger/Bild- Bildschirm schirm (Chassis/Screen) A90301882_C Seite 32 08/2021 - ©Edwards Limited...
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Seite 33: Parallele Steuerung Und Überwachung
+24-V-Spannungsquelle muss auf die gemeinsame Steuerspannung des Pumpensteuersystems bezogen werden, d. h. Pin 2 des 15-poligen D-Typ- Kundenschnittstellenanschlusses. Alternativ, wenn der FAIL-Ausgang an den + 10 V- Referenzausgang des Steuersystems angeschlossen ist, d. h. Pin 11 des 15-poligen A90301882_C Seite 33 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 34: Analoge Drehzahlsteuerung
9 = Analoger Drehzahlsteuerungseingang 0 - 10 V 11 = +10 V Analogreferenz 14 = Fernaktivierungseingang 1. Analoger Steuerschalter 1. Analoger Steuerschalter 2. Start-Schalter 2. Start-Schalter 3. Logik-Schnittstelle der nXRi-Pumpe 3. Logik-Schnittstelle der nXRi-Pumpe A90301882_C Seite 34 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 35: Hardwarekonfiguration
Drehzahlsteuerung. Die 0-V-Schiene der externen Spannungsquelle muss mit der 0-V-Steuerungsreferenz (Pin 2) des Pumpen- Controllers verbunden werden. 6.7 Betriebsmodi ▪ Ein +10-V-Eingang führt zu einer mechanischen Betriebsdrehzahl, die 100 % der Standardbetriebsdrehzahl entspricht, d. h. 250 Hz. A90301882_C Seite 35 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 36: Starten Der Pumpe
Gefahr von Beschädigungen des Geräts. Trennen Sie die Pumpe nicht von der Stromversorgung, bis die Pumpe vollständig zum Stillstand gekommen ist. Die Pumpe kann über die Bedienelemente in der Fronttafel oder den 15-poligen D-Typ- Anschluss (im parallelen oder seriellen Steuerungsmodus) ausgeschaltet werden. A90301882_C Seite 36 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 37: Starten Sie Die Pumpe Erneut
Wenn Wasserdampf im System vorhanden ist oder vom Produkt gepumpt wird, muss der Gasballast verwendet werden, um Schäden am Produkt zu vermeiden. Der Gasballast sollte bei laufender Pumpe mindestens eine Stunde lang nach Entfernen der Wasserdampfquelle angewendet werden, damit die Pumpe trocknen kann. A90301882_C Seite 37 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 38: Gasballastadapter
Anschluss freizuhebeln. Um die Positionierung des Werkzeugs unter dem Knopf zu erleichtern, kann es erforderlich sein, den Knopf zwischen den Kerben teilweise zu drehen. Sobald der Gasballastknopf entfernt wurde, kann das interne Ventil mit einem 21- mm-Steckschlüssel herausgezogen werden. A90301882_C Seite 38 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 39: Entfernen Des Zusätzlichen Schalldämpfers
Ein Einbaurahmen ist als Zubehör erhältlich (Teilenummer A90590000). Dieser kann verwendet werden, um die Pumpe an einem Fahrgestell zu befestigen oder am Boden zu verschrauben. Der Einbaurahmen hat zwei Löcher und zwei Löcher für M8-Schrauben. Diese sind mit den entsprechenden Montagepositionen an Edwards-Lecksuchwagen (mittlerer Schlitz) oder Turbowagen ausgerichtet. Installationsanweisungen Entfernen Sie zwei Schrauben an der Rückseite der Pumpe im Pumpengehäuse. - Seite 40 A90301882_C - Bedienung Heben oder rollen Sie die Pumpe auf den Einbaurahmen, wobei die Pumpenrückseite an dem Einbaurahmen ausgerichtet ist. Verwenden Sie die mitgelieferten Schrauben und Unterlegscheiben, um die Pumpe am Einbaurahmen zu befestigen. A90301882_C Seite 40 08/2021 - ©Edwards Limited...
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Seite 41: Kundendienst Und Wartung
Tabelle: Codes der Wartungsanzeige. 7.3 Kontrollieren und Reinigen des Einlassfilters Wenn Sie die Pumpe vom Vakuumsystem trennen bzw. im Rahmen der jährlichen Wartung: ▪ Entfernen Sie den Ansaugfilter vom Pumpeneinlass, siehe Abbildung: nXRi- Pumpen. A90301882_C Seite 41 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 42: Reinigen Des Außengebläsegitters
Wartung an ein Service Technology Centre eingeschickt werden. 7.7 Prüfung der elektrischen Sicherheit Prüfen Sie die Durchgängigkeit der Erdung und den Isolationswiderstand des Pumpensystems gemäß den örtlichen Vorschriften für die regelmäßige Prüfung von elektrischen Geräten. A90301882_C Seite 42 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 43: Codes Der Wartungsanzeige
Beachten Sie für die Rücksendung einer Vakuumpumpe Folgendes: ▪ Wenn Sie eine Pumpe speziell für Ihre Anwendung konfiguriert haben, fertigen Sie eine Aufzeichnung/Kopie der Konfiguration an, bevor Sie die Pumpe einschicken. Alle Ersatzpumpen werden mit den werkseitigen Standardeinstellungen ausgeliefert. A90301882_C Seite 43 08/2021 - ©Edwards Limited... - Seite 44 HINWEIS: Wenn wir kein ausgefülltes HS2-Formular erhalten, kann Ihre Ausrüstung nicht gewartet werden. Hinweis: Nehmen Sie das Gehäuse nicht ab. Die Pumpe muss zur Wartung an ein Service Technology Centre eingeschickt werden. A90301882_C Seite 44 08/2021 - ©Edwards Limited...
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Seite 45: Fehlersuche
Wenden Sie sich bei Bedarf für weitere Unterstützung bei der Messröhrenauswahl an uns. Fehler Die Pumpe ist zu laut Ursache Die Pumpe ist mit Feststoffpartikeln verunreinigt. Beseitigung Wenden Sie sich für weitere Informationen an uns oder Ihren Händler. A90301882_C Seite 45 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 46: Codes Der Alarmanzeige
Fehler der Controller- Schalten Sie die Stromversorgung der Pumpe aus software und wieder ein, und überprüfen Sie, ob der Feh- lercode erneut auftritt. Wenden Sie sich in diesem Fall an Ihren Lieferanten oder an Edwards. A90301882_C Seite 46 08/2021 - ©Edwards Limited... - Seite 47 überprüfen Sie, ob der Feh- gurations- und Kalib- lercode erneut auftritt. Wenden Sie sich in diesem rierungsvorgang nicht Fall an Ihren Lieferanten oder an Edwards. erfolgreich ausführen. s-s-L-s-s-s Beschleunigungs- Prüfen Sie, ob die Pumpe unter einem konstant...
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Seite 48: Lagerung
Bringen Sie über den Ein- und Auslassöffnungen Schutzabdeckungen an. Lagern Sie die Pumpe bis zum erneuten Einsatz sauber und trocken. Wenn die Pumpe erneut gebraucht wird, bereiten Sie sie vor und installieren Sie sie. Siehe Installation. A90301882_C Seite 48 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 49: Entsorgung
Gusseisen, Stahl, PTFE, Edelstahl, Aluminium, Zinklegierungen, Nickel, Normalstahl, ABS und Polyamid. Achten Sie besonders auf Folgendes: ▪ Fluorelastomere, die sich eventuell infolge der Einwirkung hoher Temperaturen zersetzt haben. ▪ Bauteile, die durch gefährliche Prozesschemikalien verunreinigt worden sind. A90301882_C Seite 49 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 50: Zubehör
, 300 V, 70°C mon- A50509003 tiert IEC 60320 C19-Kupplung und China GB2099- Stecker Tabelle 19 Kabel Beschreibung Bestellnummer USB-Schnittstellenkabel D39801810 nXRi TIC-Kabel D39803014 Controller-Verlängerungskabel 1 m D39700835 Controller-Verlängerungskabel 2 m D39700836 Controller-Verlängerungskabel 5 m D39700837 A90301882_C Seite 50 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 51: Gasballastadapter
VIV40EKA 24 V DC – Vakuum-Absperrventil mit 24 V DC-Regelung A50637510 VIV LINK M8-Anschluss zum Ventil – Ermöglicht die Verbindung A50637399 zwischen VIV-Ventil und Pumpe über M8-Anschluss. 11.5 Montagesatz Tabelle 23 Montagesatz Beschreibung Bestellnummer Montagesatz für Wagen/Boden A90590000 A90301882_C Seite 51 08/2021 - ©Edwards Limited... -
Seite 52: Eu-Konformitätserklärung
Vereinigtes Königreich documentation@edwardsvacuum.com Das nachstehend aufgeführte Produkt A 903 01 983 nXR30i 100–127/200–240 V einphasig 50/60 Hz DN25KF-Einlass A 904 01 983 nXR40i 100–127/200–240 V einphasig 50/60 Hz DN25KF-Einlass A 905 02 983 nXR60i 100–127/200–240 V einphasig 50/60 Hz DN40KF-Einlass A 906 02 983 nXR90i 100–127/200–240 V einphasig 50/60 Hz DN40KF-Einlass... - Seite 53 Petr Šmerek – Engineering Manager Nina Buta – General Manager Scientific Vacuum Division, Lutin Lutin, CZ Dieses Produkt wurde im Rahmen eines nach ISO 9001:2015 zertifizierten Qualitätssicherungssystems hergestellt.
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Seite 54: Konformitätserklärung
Vereinigtes Königreich Diese Konformitätserklärung wird in alleiniger Verantwortung des Herstellers ausgestellt. A 903 01 983 nXR30i 100–127/200–240 V einphasig 50/60 Hz DN25KF-Einlass A 904 01 983 nXR40i 100–127/200–240 V einphasig 50/60 Hz DN25KF-Einlass A 905 02 983 nXR60i 100–127/200–240 V einphasig 50/60 Hz DN40KF-Einlass A 906 02 983 nXR90i 100–127/200–240 V einphasig 50/60 Hz DN40KF-Einlass... - Seite 55 Petr Šmerek – Engineering Manager Nina Buta – General Manager Scientific Vacuum Division, Lutin Lutin, CZ Dieses Produkt wurde im Rahmen eines nach ISO 9001:2015 zertifizierten Qualitätssicherungssystems hergestellt.
- Seite 56 ZUSÄTZLICHE ANGABEN ZU RECHTSVORSCHRIFTEN UND KONFORMITÄT EMV (EU, UK): Klasse B Industriegeräte Vorsicht: Diese Betriebsmittel sind nicht für die Verwendung in Wohnumgebungen vorgesehen und bieten in solchen Umgebungen möglicherweise keinen ausreichenden Schutz für den Funkempfang. RoHS (EU, UK): Angaben zu ausgenommenen Werkstoffen Dieses Produkt entspricht den folgenden Ausnahmeregelungen Anhang III: •...
- Seite 57 Dieses Produkt wurde im Rahmen eines nach ISO 9001:2015 zertifizierten Qualitätssicherungssystems hergestellt.
- Seite 58 Diese Seite bleibt frei.
- Seite 59 Diese Seite bleibt frei.
- Seite 60 edwardsvacuum.com...