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3.3.3
Montage des Pumpengrundrahmens
Sorgen Sie dafür, dass der Grundrahmen der Pumpe auf einer stabilen Unterlage montiert ist (Angaben zu den
Befestigungslöchern siehe Abbildung
mehr als 20 kg betragen.
Darüber hinaus müssen Sie sicherstellen, dass Ihre Montage die folgenden Anforderungen erfüllt, um auch im Falle
des Festfressens die Stabilität der EXT-Pumpe zu gewährleisten.
Der Grundrahmen benötigt eine Zerstörungsmomentfähigkeit von 620 Nm.
Führen Sie Hutschrauben durch die Gewindelöcher in der Bodenplatte der Pumpe (siehe Abbildung
Verwenden Sie M5-Schrauben.
Die Befestigungsschrauben müssen DIN EN ISO 898-1 erfüllen und die Festigkeitsklasse 12.9 haben
(Nennzugfestigkeit 1.200 MPa).
Sie benötigen eine Mindesteinschraubtiefe von 6 mm.
Ziehen Sie die Befestigungsschrauben mit einem Anzugsdrehmoment von 12 Nm (1.22 kgf m) an.
3.3.4
Vakuumanschluss und Position
Die EXT-Pumpe lässt sich mittels Einlassflansch am Vakuumsystem befestigen. Die Pumpe kann in beliebigem Winkel
von der senkrechten bis zur waagerechten Position angeschlossen werden (±2°). Wenn Sie die Pumpe waagerecht
anbringen und eine Drehschieberpumpe als Vorpumpe der EXT-Pumpe verwenden, muss der Vorvakuumanschluss
senkrecht nach unten gerichtet sein (±20°), um die Gefahr der Verunreinigung durch das Öl der Vorvakuumpumpe
möglichst gering zu halten.
Vergewissern Sie sich, dass der Pumpeneinlass und alle Bauteile am Pumpeneinlass frei von Staub oder sonstigen
Verunreinigungen sind. Bei verunreinigtem Pumpeneinlass kann sich die Abpumpzeit verlängern.
Der Einlass der EXT-Pumpe ist als CF- bzw. ISO-Flansch ausgeführt:
Bei Pumpen mit CF-Flansch verwenden Sie die mitgelieferte Kupfer-Kompressionsdichtung sowie den
gesamten Schraubensatz, um den Hochvakuumflansch der Pumpe mit dem Vakuumsystem zu verbinden.
Bei Pumpen mit ISO-Flansch verwenden Sie den Edwards O-Ring mit Zentrier- und Außenring, den Sie mit der
Pumpe erhalten haben, und befestigen die Pumpe mit mindestens vier Klammerschrauben an dem
Vakuumsystem. Sorgen Sie dafür, dass alle Klammerschrauben mit einem Drehmoment von mindestens 10 Nm
angezogen sind.
Alternativ können Sie auch den drehbaren Kragenflansch und den mitgelieferten O-Ring mit Zentrier- und Außenring
verwenden. Der Kragenflansch ist dann mit dem vollständigen Schraubensatz zu befestigen.
Stellen Sie sicher, dass kein Drehmoment oder sonstige Kräfte vom Vakuumsystem oder den zugehörigen Leitungen
auf die Pumpe übertragen werden können.
Bauen Sie ggf. einen Einlass-Schwingungsdämpfer zwischen Pumpeneinlass und Vakuumsystem ein (Bestellnummern
siehe
Abschnitt
7.4.9, detaillierte Installationsschritte siehe Betriebsanleitung des Schwingungsdämpfers). Bei
Verwendung eines Schwingungsdämpfers müssen Sie den Grundrahmen der EXT-Pumpe laut Beschreibung in
Abschnitt 3.3.3
sicher montieren.
Hinweis:
Beim ersten Abpumpen des Systems auf ein Vakuum müssen Sie die Befestigungsschrauben am
Einlassflansch nachziehen.
3.3.5
Vorvakuumanschluss
Verbinden Sie den Kleinflansch des Vorvakuumanschlusses über eine geeignete Vakuumleitung und geeignete
Befestigungsteile mit der Vorvakuumpumpe. Verwenden Sie gegebenenfalls eine flexible Leitung oder Faltenbälge,
um Schwingungsübertragungen von der Vorvakuumpumpe auf die EXT-Pumpe zu verhindern.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
4
und 5). Wenn die Pumpe das Vakuumsystem trägt, darf dessen Gewicht nicht
B753–03–882 Ausgabe F
4
und 5).
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