Inhaltsverzeichnis - Edwards EXT255H/ISO100 Betriebsanleitung

Inhalt
Abschnitt
1 Einleitung .......................................................................................... 1
1.1 Umfang des Handbuchs und Erklärung der Sicherheitshinweise .................................................. 1
1.2 Allgemeine Beschreibung ............................................................................................... 2
1.3 Belüftung und Belüftungssteuerung ................................................................................... 3
2 Technische Daten ................................................................................. 7
2.1 Allgemeine Informationen .............................................................................................. 7
2.2 Pumpbetrieb .............................................................................................................. 7
2.2.1 Pumpen ohne Spülgas ................................................................................................... 8
2.2.2 Pumpen mit Spülgas ..................................................................................................... 8
2.3 Belüftungsgasspezifikation und Belüftungssteuerung .............................................................. 8
2.4 Spülgasspezifikation ..................................................................................................... 8
2.5 Kühlwasser ................................................................................................................ 9
2.6 Materialien mit Gasberührung ........................................................................................ 12
3 Installation ....................................................................................... 15
3.1 Auspacken und Überprüfen ............................................................................................15
3.2 Typische Installation ...................................................................................................15
3.3 Die Pumpe an das Vakuumsystem anschließen ..................................................................... 18
3.3.1 Ansaugsieb ............................................................................................................... 18
3.3.2 Mechanische Befestigung .............................................................................................18
3.3.3 Montage des Pumpengrundrahmens ................................................................................. 19
3.3.4 Vakuumanschluss und Position ........................................................................................ 19
3.3.5 Vorvakuumanschluss ....................................................................................................19
3.3.6 Zwischenstufen-Anschluss (nur EXT255Hi/EXT255HVi) ............................................................20
3.4 Belüftungsventil - Anschluss und Steuerung ....................................................................... 20
3.5 Spülgasanschluss ........................................................................................................21
3.5.1 Das Spülgas anschließen ...............................................................................................21
3.5.2 Empfohlener Spülgasdurchfluss ....................................................................................... 21
3.6 Elektroinstallation ......................................................................................................21
3.7 Kühlung ................................................................................................................... 22
3.7.1 Einleitung ................................................................................................................ 22
3.7.2 Luftkühlung .............................................................................................................. 22
3.7.3 Wasserkühlung ..........................................................................................................23
4 Betrieb ........................................................................................... 25
4.1 Einschalten ............................................................................................................... 25
4.2 Standby ................................................................................................................... 25
4.3 Die Pumpe ausschalten ................................................................................................26
4.4 Sicherheitsverriegelungen und Steuersystem ...................................................................... 26
4.5 Ausheizen ................................................................................................................ 27
5 Wartung .......................................................................................... 29
5.1 Einleitung ................................................................................................................ 29
5.2 Lebensdauer der Lager .................................................................................................29
5.3 Lebensdauer des Rotors ................................................................................................29
5.4 Die Pumpe reinigen .....................................................................................................30
5.5 Fehlersuche .............................................................................................................. 30
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