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Installation
Achten Sie auf die sichere Verlegung aller Vakuum-, Belüftungs-/Spülgas- und Wasserleitungen
sowie Kabel und Drähte, um Stolpergefahr zu vermeiden.
3.1
Auspacken und Überprüfen
Um Schäden während des Transports zu verhindern, wurde die Pumpe sorgfältig verpackt. Achten Sie beim Auspacken
darauf, dass die Pumpe keinen stärkeren Stoßbelastungen ausgesetzt wird, die die Lager beschädigen und die
Lebensdauer der Pumpe beeinträchtigen könnten. Bei Lieferung der Pumpe sind Einlass und Auslass verschlossen,
damit die Pumpen nicht durch eindringenden Staub oder durch Dämpfe verunreinigt werden können. Nehmen Sie
diese Verschlüsse erst dann ab, wenn die Pumpe tatsächlich an Ihr Vakuumsystem angeschlossen wird.
Nehmen Sie das Verpackungs- und Schutzmaterial vollständig ab und überprüfen Sie die Pumpe. Wenn die Pumpe
beschädigt ist, verständigen Sie Ihren Händler und den Spediteur binnen drei Tagen schriftlich. Geben Sie die
Bestellnummer Ihrer Pumpe sowie Ihre Bestellnummer und die Rechnungsnummer des Lieferanten an. Bewahren Sie
das gesamte Verpackungsmaterial zur Überprüfung auf. Beschädigte Pumpen dürfen nicht in Betrieb genommen
werden.
Vergewissern Sie sich, dass Ihre Lieferung alle in
Sie Ihren Lieferanten binnen drei Tagen schriftlich.
Stück
Beschreibung
1
EXT-Turbomolekularpumpe
1
Einlassdichtung (O-Ring mit Zentrier- und Außenring, Co-Seal- oder Kupfer-
Kompressionsdichtung)
1
Einlassfilter (nur EXT255Hi, im Zwischenstufen-Anschluss)
1
Zwischenstufendichtung (nur EXT255HVi, im Zwischenstufen-Anschluss)
Wenn die Pumpe nicht sofort in Betrieb genommen werden soll, lagern Sie die Pumpe unter geeigneten Bedingungen
ein (siehe
Abschnitt
6.1).
Bewahren Sie das Verpackungsmaterial auf. Wenn Sie die Pumpe zu Wartungsarbeiten einschicken müssen, benötigen
Sie das Verpackungsmaterial.
3.2
Typische Installation
In Abbildung 6 sehen Sie ein typisches Pumpsystem mit einer EXT255H. Ein typisches System mit einer EXT255Hi oder
EXT255HVi ist in Abbildung 7 dargestellt. Wenn erforderlich, spülen Sie die EXT-Pumpe mit Inertgas, wie in
Abschnitt 3.5
beschrieben.
Das für diese EXT-Pumpen lieferbare Zubehör ist in
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
WARNUNG
Tabelle 2
genannten Teile enthält. Wenn ein Teil fehlt, verständigen
Tabelle 2 — Stückliste
Abschnitt 7
beschrieben und in
B753–03–882 Ausgabe F
Vorhanden ( )
Abbildung 9
dargestellt.
Seite 15
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Fehlerbehebung
