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Parameter
Maximaler Vorvakuumdruck
N
2
He
H
2
Mindest-Saugvermögen
Vorvakuumpumpe
Maximaler kontinuierlicher
***
Ansaugdruck
Wasserkühlung bei 15 ºC
***
Luftkühlung bei 35 ºC
Einbaulage
Nominale Drehzahl
Standby-Drehzahl
Hochlaufzeit bis 90 % der
maximalen Drehzahl
EXC100E
EXC120
EXC300
Kühlverfahren
Umgebungslufttemperatur
(Luftkühlung)
Wassertemperatur
(Wasserkühlung)
Schalldruckpegel (in 1 m
Abstand)
Empfohlener Controller
EXC120 max.
Leistungsaufnahme
Ruhestrom
Empfohlene
†††
Vorvakuumpumpe
*** Über diesem Druck fällt die Drehzahl unter die nominale Drehzahl.
†††
Der größtmögliche Durchsatz wird unter Umständen erst mit einer größeren Vorvakuumpumpe erzielt.
2.6
Materialien mit Gasberührung
Die folgenden Materialien und Bauteile kommen mit den gepumpten Gasen in Berührung: Aluminiumlegierungen,
Edelstähle, Fluorelastomer- und Nitril-O-Ringe, Schmiermittel auf Kohlenwasserstoffbasis, Filz, Magnete aus seltenen
Erden, Siliziumnitrid, Phenolharz und mit Kohlenstofffasern verstärktes Epoxidharz.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Tabelle 1 — Technische Daten (Fortsetzung)
EXT255H
EXT255Hi
‡‡
12 mbar
12 mbar
(1.200 Pa)
(1.200 Pa)
10 mbar
10 mbar
(1.000 Pa)
(1.000 Pa)
3 mbar
3 mbar
(300 Pa)
(300 Pa)
3
-1
0,6 m
h
0,6 m
***
-1
2 x 10
mbar,
2 x 10
20 Pa
20 Pa
-2
2 x 10
mbar,
2 x 10
2 Pa
2 Pa
Senkrecht bis waagerecht (±2°)
-1
60.000 U/min
60.000 U/min
-1
42.000 U/min
42.000 U/min
190 s
190 s
130 s
130 s
100 s
100 s
Luft-/
Luft-/
Wasserkühlung
Wasserkühlung
0—35 ºC
0—35 ºC
10—20 ºC
10—20 ºC
<50 dB(A)
<50 dB(A)
EXC120
EXC120
250 VA
250VA
25 W
25 W
RV3
RV3
EXT255HVi
12 mbar
(1.200 Pa)
10 mbar
(1.000 Pa)
3 mbar
(300 Pa)
3
-1
3
-1
h
0,6 m
h
-1
-1
mbar,
2 x 10
mbar,
20 Pa
-2
-2
mbar,
2 x 10
mbar,
2 Pa
-1
-1
60.000 U/min
-1
-1
42.000 U/min
190 s
130 s
100 s
Luft-/
Wasserkühlung
0—35 ºC
10—20 ºC
<50 dB(A)
EXC120
250VA
25 W
RV3
B753–03–882 Ausgabe F
Anmerkungen
mit Ausheizmanschette
Seite 11
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