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Symptom
Der EXC-Controller löst die
Notabschaltung aus. Alle
Drehzahl-LEDs leuchten auf.
Das Endvakuum wird nicht
erreicht.
Die EXT-Pumpe läuft zu laut
und/oder vibriert zu stark.
Keines der beschriebenen
Symptome wurde festgestellt.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Tabelle 4 — Fehlersuche (Fortsetzung)
Prüfung
-
Wird die Leistung durch Wasserdampf
beeinträchtigt?
Sind die Vakuummessgeräte
verunreinigt?
Liegt die Drehzahl zu niedrig (infolge
eines schlechten Leitwerts zwischen
Pumpe und Messgerät oder aufgrund
einer zu großen Kammer)?
Beträgt der Zwischenstufen-
Einlassdruck >0,2 mbar (20 Pa)?
Beträgt der Vorvakuumdruck <12 mbar
(1.200 Pa)?
Ist der Hochvakuumbereich des Systems
verunreinigt?
Übriges System auf Undichtigkeiten und
Verunreinigungen prüfen.
Pumpe vom System trennen und
Endvakuum der isolierten Pumpe prüfen
(Spezifikation siehe Abschnitt 2).
Ist die Drehzahl der Pumpe identisch
mit der Schwingungsfrequenz des
angeschlossenen Systems?
Werden Schwingungen von der
Drehschieberpumpe übertragen?
Sind die Geräusche unregelmäßig, und
nehmen zu?
Erzeugt die EXT-Pumpe ein anhaltendes
hohes Geräusch?
-
B753–03–882 Ausgabe F
Maßnahme
Setzen Sie sich mit Ihrem Lieferanten
oder direkt mit Edwards in Verbindung.
System und Pumpe ausheizen.
Wenn ja, Messgeräte reinigen bzw.
ersetzen.
Leitwert erhöhen oder Volumen
reduzieren.
Wenn der Einlassdruck in der
Zwischenstufe zu hoch ist, reduziert
sich der Druck am Turbomolekular-
einlass. Sicherstellen, dass der
Zwischenstufen-Einlassdruck
<0,2 mbar (20 Pa) beträgt.
Ist die Vorvakuumleitung undicht? Wenn
der Vorvakuumdruck zu hoch ist, wird
möglicherweise eine größere
Vorvakuumpumpe benötigt.
Wenn ja, Hochvakuumsystem reinigen.
Gegebenenfalls Verunreinigungen
entfernen und Undichtigkeiten
beheben.
Wenn das Endvakuum zu niedrig ist,
Pumpe auf Verunreinigungen prüfen und
gegebenenfalls reinigen, wie in
Abschnitt 5.4
beschrieben. Pumpe auf
Dichtigkeit prüfen. Beträgt die Leckrate
-7
-1
>1 x 10
mbar l s
(1 x 10
Lieferanten oder Edwards direkt
verständigen.
Wenn ja, natürliche Frequenz des
Systems ändern oder Pumpe mit
Faltenbälgen isolieren.
Wenn ja, Wellschläuche oder einen
Schwingungsdämpfer in die
Vorvakuumleitung einbauen.
Wenn ja, ist ein Lager defekt. Setzen
Sie sich mit Ihrem Lieferanten oder
direkt mit Edwards in Verbindung.
Wenn ja, ist am Rotor eine Unwucht
aufgetreten. Setzen Sie sich mit Ihrem
Lieferanten oder direkt mit Edwards in
Verbindung.
Setzen Sie sich mit Ihrem Lieferanten
oder direkt mit Edwards in Verbindung.
-5
-1
Pa l s
),
Seite 33
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Fehlerbehebung
