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Wartung
Warten Sie, bis der Pumpenrotor sich nicht mehr dreht. Ziehen Sie dann den EXC-Controller ab,
bevor Sie schließlich die Pumpe zur Ausführung von Wartungsarbeiten oder zur Störungsdiagnose
von Ihrem Vakuumsystem trennen.
5.1
Einleitung
In den folgenden Abschnitten werden Wartungs- und Reparaturarbeiten an den EXT-Turbomolekularpumpen
beschrieben. Als Ersatzteile sind das ISX-Ansaugsieb, der WCX- Wasserkühler, der Einlassfilter und die
Hochvakuumflansch-Dichtungen lieferbar (siehe
beschrieben. Zum Einbauen des WCX-Wasserkühlers siehe
5.2
Lebensdauer der Lager
Bei Auslieferung enthalten die Pumpen ausreichend Schmiermittel zur Versorgung der Lager auf Lebensdauer.
Entsprechend brauchen die Lager während der vorgesehenen Lebensdauer nicht nachgeschmiert zu werden.
Wartungs- und Reparaturarbeiten an den Lagern können nicht vom Kunden ausgeführt werden. Nach Erreichen der
vorgesehenen Lebensdauer sind die Lager zu ersetzen. In der Regel beträgt die Lebensdauer mindestens
20.000 Stunden. Je nach Einsatzbedingungen der Pumpe kann die Lebensdauer sich jedoch verringern.
Wenn die Lager ersetzt werden müssen, empfehlen wir den Austausch der Pumpen und eine Überholung der Pumpen
im Werk. Sie können Ihre Pumpen auch an ein Edwards Kundendienstzentrum schicken, um dort die Lager erneuern
zu lassen.
Wenn Sie EXT-Pumpen an ein Edwards Kundendienstzentrum schicken, verfahren Sie bitte, wie am Ende dieser
Anleitung beschrieben. Die Anweisungen zum Ablassen sämtlicher Betriebsflüssigkeiten sind jedoch nicht auf das
Schmiermittel im Ölreservoir der EXT-Pumpen zu beziehen.
5.3
Lebensdauer des Rotors
Der Rotor der EXT-Pumpe hat eine typische Lebensdauer von 40.000 bis 50.000 Zyklen (Beschleunigung auf volle
Drehzahl und anschließendes Abbremsen bis zum Stillstand). Wartungs- und Reparaturarbeiten am Rotor können nicht
vom Kunden durchgeführt werden.
Wir empfehlen daher, Ihre Pumpe nach 20.000 Zyklen oder 10 Jahren (Ersteintreffendes ist maßgebend) gegen einen
werksüberholten Ersatz auszutauschen. Sie können jedoch auch beim Edwards-Kundendienstzentrum eine große
Wartung für Ihre Pumpe veranlassen (einschließlich Rotoraustausch).
Wenn Sie EXT-Pumpen an ein Edwards-Kundendienstzentrum schicken, verfahren Sie bitte gemäß der Beschreibung
am Ende dieser Anleitung. Die Anweisung zum Ablassen aller Betriebsflüssigkeiten ist jedoch nicht auf das
Schmiermittel im Ölreservoir der EXT-Pumpen zu beziehen.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
WARNUNG
Abschnitt
7). Montieren Sie das ISX-Ansaugsieb wie in
Abschnitt
3.7.2.
B753–03–882 Ausgabe F
Abschnitt 3.3.1
Seite 29
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