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Edwards EXT255H/ISO100 Betriebsanleitung Seite 38

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B753–03–882 Ausgabe F
Symptom
Der EXC-Controller löst die
Notabschaltung beim
Hochlaufen aus, bevor 50 %
der nominalen Drehzahl
erreicht werden.
Der EXC-Controller löst die
Notabschaltung aus, nachdem
50 % der nominalen Drehzahl
erreicht sind. Die ersten
beiden Drehzahl-LEDs
leuchten auf.
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Tabelle 4 — Fehlersuche (Fortsetzung)
Prüfung
Ist der Ansaugdruck zu hoch?
Ist der Vorvakuumdruck überhöht?
Wird die EXT-Pumpe zu heiß?
Kann der Rotor ungehindert drehen?
Ist der Zeitschalter richtig eingestellt?
Ist der Druck zu hoch?
Läuft die EXT-Pumpe zu heiß?
Kann der Rotor der EXT-Pumpe
ungehindert drehen?
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Maßnahme
Wenn ja, die Pumpbelastung reduzieren
bzw. prüfen, ob eine erhebliche
Undichtigkeit im Pumpsystem besteht.
Kühlwasserdurchfluss erhöhen und/oder
Wassertemperatur reduzieren. Unter
Umständen muss von Luft- auf
Wasserkühlung umgestellt werden.
(Zum maximalen Ansaugdruck und zu
den Kühlanforderungen siehe
Abschnitt
2.) Sicherstellen, dass die
eingebauten Heizquellen (z. B. die
Heizelemente der Ausheizbänder) nicht
zu heiß werden.
Wenn nein, könnten die Lager der EXT-
Pumpe beschädigt sein. Setzen Sie sich
mit Ihrem Lieferanten oder direkt mit
Edwards in Verbindung.
Erhöhen Sie die Zeitschaltereinstellung
(siehe Betriebsanleitung des EXC-
Controllers). Wenn der EXC-Controller
immer noch die Notabschaltung auslöst,
setzen Sie sich mit Ihrem Lieferanten
oder direkt mit Edwards in Verbindung.
Wenn ja, Pumpenbelastung reduzieren
oder prüfen, ob eine Undichtigkeit im
Vakuumsystem besteht.
Ist die Gaslast nur zeitweise zu hoch,
den EXC-Controller so einstellen, dass
die Notabschaltung bei 50 % der
nominalen Drehzahl verzögert wird und
eine geeignete Verzögerung definieren
(siehe Betriebsanleitung zum EXC-
Controller).
Kühlwasserdurchfluss erhöhen und/oder
Wassertemperatur reduzieren. Unter
Umständen muss von Luft- auf
Wasserkühlung umgestellt werden.
Wenn nein, könnten die Lager der EXT-
Pumpe beschädigt sein. Setzen Sie sich
mit Ihrem Lieferanten oder direkt mit
Edwards in Verbindung.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.

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Diese Anleitung auch für:

Ext255h/100cfExt255hi/iso100Ext255hvi

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