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B753–03–882 Ausgabe F
Abbildung 9 — Einbau des optionalen Zubehörs (und der Ersatzteile) (EXT255Hi abgebildet)
1. Schwingungsdämpfer
2. Ausheizmanschette
3. Hochvakuumflansch-Dichtung
(mitgeliefert)
4. EXT255Hi
5. Belüftungsanschluss
6. VRX-Belüftungsbegrenzer
*
Nur EXT255Hi
✝
Nur EXT255Hi/EXT255HVi
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7. Belüftungsventil
(Magnetventil)
8. Adapter DN10KF
9. Manuelles Belüftungsventil
(mitgeliefert)
10. Wasserkühler
(gegenüberliegend)
11. Belüftungsanschluss-Adapter
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
12. Drosselelement
13. Luftkühler
14. Einlassfilter (mitgeliefert)*
15. Zwischenstufen-Anschluss✝
16. Anordnung der
Ausheizmanschette
17. Ansaugsieb (mitgeliefert)
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