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B753–03–882 Ausgabe F
4.5
Ausheizen
VORSICHT
Wenn Sie den Hochvakuumflansch der EXT-Pumpe auf über 70 ºC ausheizen, muss die Pumpe mit Wasser gekühlt
werden, um Beeinträchtigungen der Lagerschmierung zu vermeiden.
Durch die Ausheizung der EXT-Pumpe (und entsprechend des gesamten Vakuumsystems) beschleunigt sich der
Entgasungsprozess, und die Pumpe erreicht das Endvakuum in äußerst kurzer Zeit. Außerdem verhindert das
Ausheizen Dampfkondensationen in der Pumpe.
Zum Ausheizen der Pumpe können Sie die Edwards BX-Ausheizmanschette verwenden (siehe
Abschnitt
7). Legen Sie
die Manschette unmittelbar unter dem Hochvakuumflansch um die Pumpe. Falls Sie die Pumpe bzw. das
Vakuumsystem ausheizen, stellen Sie sicher, dass am Hochvakuumflansch eine Temperatur von 100 ºC nicht
überschritten wird.
Wird das Vakuumsystem ausgeheizt und steigt die Systemtemperatur auf über 200 ºC, muss zwischen Vakuumsystem
und EXT-Pumpe eine Strahlungsabschirmung angebracht werden. Diese Strahlungsabschirmung reduziert die
Wärmeabstrahlung auf den Pumpenrotor.
In der Regel ist eine Ausheizzeit von vier Stunden ausreichend, um das Kondenswasser vollständig aus der Pumpe zu
entfernen. Im Einzelfall hängt die Ausheizzeit jedoch von der Menge des Kondensats in Pumpe und Vakuumsystem
sowie vom erforderlichen Enddruck ab.
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