Inhaltsverzeichnis
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Technische Daten
2.1
Allgemeine Informationen
Leistungsmerkmale
Abmessungen
Maximale Hochvakuumflanschtemperatur
Maximales Magnetfeld
Installationskategorie
Verunreinigungsgrad
Höhe
Feuchtigkeit
Stromversorgung
Ausrüstungstyp
2.2
Pumpbetrieb
Entlüften Sie gefährliche Gase und Gasgemische in sicherer Weise. Sorgen Sie dafür, dass niemand
mit diesen Gasen in Berührung kommen kann.
Verwenden Sie EXT-Pumpen nicht zum Pumpen explosiver Gasgemische. Die Pumpen sind dazu
nicht ausgelegt.
Bei der EXT255Hi und der EXT255HVi mischt sich das durch den Zwischenstufen-Anschluss
gepumpte Gas mit dem durch den Hochvakuumflansch gepumpten Gas. Vergewissern Sie sich, dass
die Gase nicht reagieren und keine gefährlichen Gemische und Substanzen bilden können.
Setzen Sie die EXT-Pumpen nicht zum Fördern von Gasen mit Sauerstoffanteilen von über 20 % ein, wenn die
Pumpen nicht mit Gas gespült wurden. Ansonsten kann das Schmiermittel polymerisieren, und an den Pumpen
können vorzeitig Störungen auftreten.
Hinweis:
Beachten Sie, dass die Gaskonzentrationen durch die von den Pumpen erzielten Komprimierungen
verändert werden können.
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Siehe
Tabelle 1
Siehe Abbildungen
100 ºC
3,5 mT horizontal
>7 mT vertikal
DIN EN 61010-1, Kategorie 1
CAN/CSA, UL, EN61010 Teil 1
2000 m
10 bis 90 % nicht kondensierend
80 V-
Fest installierte Ausrüstung, Betrieb nur in
geschlossenen Räumen
WARNUNG
WARNUNG
WARNUNG
VORSICHT
B753–03–882 Ausgabe F
4
und
5
Seite 7
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Fehlerbehebung
