Pumpen Ohne Spülgas; Pumpen Mit Spülgas; Belüftungsgasspezifikation Und Belüftungssteuerung; Spülgasspezifikation - Edwards EXT255H/ISO100 Betriebsanleitung

B753–03–882 Ausgabe F
2.2.1 Pumpen ohne Spülgas
Die Pumpen sind zum Fördern der folgenden üblicherweise in Hochvakuumsystemen vorhandenen Restgase ausgelegt:
Luft
Stickstoff
Kohlendioxid
Unter den folgenden Bedingungen können mit den Pumpen Sauerstoff und Wasserdämpfe gefördert werden:
Sauerstoff Die Sauerstoffkonzentration muss unter 20 Vol.-% betragen.
Wasserdampf Vergewissern Sie sich, dass der Wasserdampf nicht in der Pumpe kondensieren kann; siehe
Abschnitt
Wenn Sie ein Gas pumpen möchten, das in der vorstehenden Aufstellung nicht genannt ist, erkundigen Sie sich
entsprechend bei Ihrem Lieferanten. Wenn Sie Ihren Lieferanten nicht verständigt haben, kann die Garantie Ihrer
Pumpe außer Kraft treten. Zum Pumpen aggressiver oder korrosiver Gase sind die Pumpen nicht geeignet.
2.2.2 Pumpen mit Spülgas
Wenn die Pumpen mit einem Inertgas gespült werden, kann Sauerstoff auch in Konzentrationen über 20 Vol.-%
gepumpt werden.
2.3 Belüftungsgasspezifikation und Belüftungssteuerung
Die Pumpen können zur Atmosphäre belüftet werden. Hohe relative Luftfeuchtigkeiten können jedoch die
Abpumpzeiten erheblich verlängern. Um die Abpumpzeiten möglichst zu reduzieren, sollten Sie die Pumpen mit
trockenen, sauberen Gasen belüften.
Belüftungsgas
Maximaler Taupunkt bei Atmosphärendruck
Maximale Partikelgröße
Maximale Ölkonzentration
Dauer bis Erreichen der halben maximalen Drehzahl
Druckanstieg
2.4 Spülgasspezifikation
Spülgas
Maximaler Taupunkt bei Atmosphärendruck
Maximale Partikelgröße
Maximale Ölkonzentration
Zulässiger Spülgasdurchfluss (bei Bedarf)
Empfohlener Spülgasdurchfluss
Maximal zulässiger Spülgas-Zuleitungsdruck
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Kohlenmonoxid Neon
Wasserstoff Argon
Helium Krypton
3.7.3.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Ethan
Propan
Butan
Trockene Luft, Stickstoff, Argon oder sonstige Inertgase
—22 ºC
1 μm
0,1 ppm
>15 s
Siehe Abbildung 3
Trockener Stickstoff, Argon oder sonstige Inertgase
—22 ºC
1 μm
0,1 ppm
20 bis 100 sccm (0,33 bis 1,67 mbar l s
-1
25 sccm (0,42 mbar l s , 42 Pa l s
2 bar (absolut); 29 psig, 3 x 10
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Methan
-1
, 33 bis 167 Pa l s
-1
)
5
Pa
-1
)