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B753–03–882 Ausgabe F
1.2
Allgemeine Beschreibung
Die Compound-Vakuumpumpen EXT255H, EXT255Hi und EXT255HVi bestehen jeweils aus einer Turbomolekularpumpe
und einer Drag-Pumpe auf einer gemeinsamen Welle. Siehe Abbildungen
1
und 2, die den Innenaufbau der Pumpen
EXT255H und EXT255HVi zeigen.
Die Turbomolekularpumpe besteht aus einer mehrstufigen Axialdurchflussturbine, die für den Betrieb mit
Molekularströmungen optimiert wurde. Die Drag-Pumpe ist mit schraubenförmigen Förderrillen ausgeführt und kann
mit höheren Druckbelastungen betrieben werden als herkömmliche Turbomolekularpumpen.
Der aus einem Teil gefertigte Leichtmetallrotor (13) trägt die schräg gestellten Rotorblätter. Die Rotorblätter drehen
sich zwischen den von Distanzringen (11) gestützten und schräg ausgerichteten Statorblättern (12). Rotor- und
Statorblätter sind am Pumpeneinlass weiter entfernt und zum Auslass der Pumpen dichter zueinander angeordnet.
Sowohl beim Pumpen von Gasen mit hohen als auch mit niedrigen Molekulargewichten kombiniert diese Konstruktion
Saugvermögen und Kompression in idealer Weise. Um einen größtmöglichen Wirkungsgrad zu erzielen, muss die
Drehzahl der thermischen Geschwindigkeit der gepumpten Gase möglichst nahe kommen. Entsprechend dreht der
-1
Rotor mit bis zu 60.000 U/min
.
Aus dem Einlass wird das Gas komprimiert durch die Stufen der Turbomolekularpumpe zur Drag-Pumpe geführt. In
der Drag-Pumpe wird das Gas während der Förderung durch die schraubenförmigen Kanalrillen nochmals verdichtet.
Die rotierende Baugruppe wird am Einlass von einem reibungsfreien Magnetlager (3) und am Auslass von einem
Keramik-Präzisionskugellager (8) getragen. Die Docht-Schmierung des Kugellagers erfolgt über ein Ölreservoir (9).
Alle Pumpen werden mit einem Ansaugsieb (2) im Hochvakuumflansch geliefert. Bei der EXT255Hi befindet sich im
Zwischenstufen-Anschluss ein Einlassfilter. Das Ansaugsieb bzw. der Einlassfilter schützt die Pumpen vor
Beschädigungen durch Verunreinigungen. Außerdem verhindert das Ansaugsieb Verletzungen durch die
scharfkantigen Rotorblätter.
Alle Pumpen sind mit einem Belüftungsanschluss ausgerüstet, über den Pumpe und Vakuumsystem zur Atmosphäre
belüftet werden können. Durch den Belüftungsanschluss gelangt das Belüftungsgas in den Pumpenrotor und
gewährleistet dadurch größtmögliche Sauberkeit. Am Belüftungsanschluss ist ein manuell zu bedienendes
Belüftungsventil angebracht. Wie in
Abschnitt 3.4
beschrieben können Sie dieses manuelle Belüftungsventil durch ein
Magnetventil der Typen TAV5 oder TAV6 ersetzen. Diese Belüftungsventile werden als Zubehör angeboten (siehe
Abschnitt
7).
Alle Pumpen verfügen über einen Spülanschluss (Abbildung
4
oder 5, Position 3) im Motor- und Lagergehäuse. Um das
Lagerschmiermittel vor Beeinträchtigungen infolge hoher Sauerstoffkonzentrationen zu schützen, kann zur Reinigung
der Systeme durch diesen Spülanschluss ein inertes Spülgas eingeleitet werden. Sie können den als Zubehör
lieferbaren Spülanschlussadapter und eine Drosselung einbauen, um den Spülgasdurchfluss zu steuern und das
zugeleitete Gas zu filtern (siehe
Abschnitt
7).
Die EXT255Hi ist mit einem Zwischenstufen-Anschluss zwischen der Turbomolekularpumpe und der Drag-Pumpe
ausgeführt. Über den Zwischenstufen-Anschluss können Sie eine separate Kammer Ihres Vakuumsystems versorgen
oder das Vorvakuum für eine weitere Turbomolekularpumpe erzeugen. Solange die Pumpe mit einem Auslassdruck
-1
-1
von unter 5 mbar (500 Pa) und einem Zwischenstufen-Zufluss von unter 70 sccm (1,17 mbar l s
, 117 Pa l s
)
betrieben wird, ist die Vakuumleistung am Einlass der Turbomolekularpumpe unabhängig von den
Betriebsbedingungen in der Zwischenstufe.
Die Pumpe EXT255HVi besitzt außerdem einen Zwischenstufen-Anschluss (14). Der Zwischenstufen-Anschluss, der
sich im Turbomolekularteil der Pumpe befindet, ermöglicht in Verbindung mit dem durch die größere Abmessung
dieses Anschlusses bewirkten höheren Leitwert ein höheres Zwischenstufen-Saugvermögen als bei der EXT255Hi.
Die EXT-Pumpen werden über einen 19-poligen Stromanschluss und ein Datenkabel mit dem EXC-Controller
verbunden. Das Kabel wird separat geliefert und ist in unterschiedlichen Längen erhältlich (siehe
Abschnitt
7). Wenn
Sie den Controller EXC100L verwenden, muss das Kabel nicht separat bestellt werden.
Die Pumpen können mit dem entsprechenden Zubehör luft- bzw. wassergekühlt werden. Weitere Informationen zu
Anwendungen und Kühlanforderungen entnehmen Sie bitte
Abschnitt
3. Pumpen mit CF-Flansch werden mit einem
Wasserkühler geliefert.
Alle EXT-Pumpen sind mit einem Temperaturfühler zur Überwachung der Temperatur von Motor und Pumpengehäuse
ausgerüstet.
Seite 2
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