Edwards EXT255H/ISO100 Betriebsanleitung Seite 4

B753-03-882 Ausgabe F
6 Lagerung und Entsorgung ...................................................................... 35
6.1 Lagerung ................................................................................................................. 35
6.2 Entsorgung ............................................................................................................... 35
7 Kundendienst, Ersatzteile und Zubehör ..................................................... 37
7.1 Einleitung ................................................................................................................ 37
7.2 Kundendienst ............................................................................................................ 37
7.3 Ersatzteile ............................................................................................................... 37
7.3.1 ISX-Ansaugsieb ..........................................................................................................37
7.3.2 Einlassfilter (nur EXT255Hi) ...........................................................................................37
7.3.3 Zwischenstufen-Anschlussdichtung (nur EXT255HVi) ..............................................................38
7.3.4 WCX-Wasserkühler ......................................................................................................38
7.3.5 Hochvakuumflansch-Dichtungen ...................................................................................... 38
7.4 Zubehör .................................................................................................................. 38
7.4.1 Installation ............................................................................................................... 38
7.4.2 EXC-Controller ........................................................................................................... 38
7.4.3 Verbindungskabel Pumpe/Controller ................................................................................ 39
7.4.4 EXDC-Antriebsmodule ..................................................................................................39
7.4.5 BX-Ausheizmanschette .................................................................................................39
7.4.6 Adsorptionsfalle FL20K .................................................................................................39
7.4.7 TAV-Belüftungsventil und Belüftungsventil-Adapter ..............................................................41
7.4.8 ACX-Luftkühler ..........................................................................................................41
7.4.9 Schwingungsdämpfer ...................................................................................................41
7.4.10 PRX-Drosselelement ....................................................................................................41
7.4.11 VRX-Belüftungsbegrenzer ..............................................................................................41
Für die Rücksendung von Geräten sind die HS-Formulare am Ende dieser Betriebsanleitung zu verwenden.
Abbildungen
Abbildung
1 Querschnittsansicht der Pumpe EXT255H ............................................................................ 4
2 Querschnittsansicht der Pumpe EXT255HVi .......................................................................... 5
3 Maximal zulässiger Druckanstieg beim Belüften:
Systemdruck (mbar/Pa) in Abhängigkeit von der Zeit (s) ......................................................... 9
4 Abmessungen EXT255/EXT255Hi (mm) .............................................................................. 13
5 Abmessungen EXT255HVi (mm) ....................................................................................... 14
6 Typisches Pumpsystem mit einer EXT255H ......................................................................... 16
7 Typisches Pumpsystem mit einer EXT255Hi/EXT255HVi ..........................................................17
8 Ordnungsgemäßer Einbau des Ansaugsiebs ......................................................................... 18
9 Einbau des optionalen Zubehörs (und der Ersatzteile) (EXT255Hi abgebildet) ................................ 40
Tabellen
Tabelle
1 Technische Daten .......................................................................................................10
2 Stückliste ................................................................................................................. 15
3 Öffnungsdurchmesser des Belüftungsbegrenzers
(bei Atmosphärendruck am Einlass des Belüftungsventils) .......................................................20
4 Fehlersuche .............................................................................................................. 31
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