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7.4.7
TAV-Belüftungsventil und Belüftungsventil-Adapter
Zur Belüftung der Pumpen werden zwei Magnetventile angeboten. Die als Schließer ausgeführten Ventile werden mit
24 V Gleichstrom betrieben und können automatisch über den EXC-Controller aktiviert werden. Das Magnetventil wird
anstelle des manuellen Ventils bzw. mit einem im Lieferumfang des Magnetventils enthaltenen Adapter eingebaut
und kann an jedem geeigneten DN10KF-Flansch eines Vakuumsystems eingesetzt werden.
Mit dem Belüftungsanschluss-Adapter kann der Belüftungsanschluss bzw. der Spülanschluss an jeden geeigneten
DN10KF-Flansch angeschlossen werden (siehe
Produkt
Belüftungsventil TAV5
Belüftungsventil TAV6
1
DN10KF-
/
" BSP, mit Außengewinde
8
7.4.8
ACX-Luftkühler
Die Pumpen können mit einem ACX-Luftkühler ausgerüstet werden. Beachten Sie jedoch bitte die Hinweise in
Abschnitt 3 zur Eignung der Luftkühlung für Ihre spezielle Anwendung.
Pumpe
EXT255H/Hi
7.4.9
Schwingungsdämpfer
Bei Anwendungen, in denen selbst die von der Turbomolekularpumpe erzeugten geringen Schwingungen
problematisch sind, kann ein Schwingungsdämpfer eingebaut werden. Der Schwingungsdämpfer besteht aus zwei
Spezialflanschen, die durch einen Faltenbalg und einen Kragen aus Dämpfungsgummi miteinander verbunden sind.
Welcher Schwingungsdämpfer benötigt wird, hängt von der Größe des jeweiligen Hochvakuumflanschs ab.
Hochvakuumflansch-Größe
DN100ISO-K
7.4.10
PRX-Drosselelement
Zur Filtration des Spülgases und zur Begrenzung des Durchflusses auf die empfohlenen 25 sccm wird ein modifizierter
DN10KF-Zentrierring angeboten. Das Drosselelement ist für alle EXT-Pumpen mit Spülanschluss geeignet.
Drosselelement
PRX10
7.4.11
VRX-Belüftungsbegrenzer
Mit den VRX-Belüftungsbegrenzern mit festem Öffnungsdurchmesser wird der Belüftungsstrom in die EXT-Pumpen
begrenzt. Welcher VRX-Belüftungsbegrenzer jeweils für Ihr System zu verwenden ist, entnehmen Sie bitte den
Hinweisen in
Abschnitt
3.4.
Belüftungsbegrenzer
VRX10
VRX20
VRX30
VRX50
VRX70
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Marken von Edwards Limited.
Abbildung
9, Positionen 8 und 11).
Luftkühler
ACX250H
Flanschgröße
DN10KF
Öffnungsdurchmesser (mm)
0,1
0,2
0,3
0,5
0,7
B753–03–882 Ausgabe F
Bestellnummer
B580-66-010
B580-66-020
B580-66-011
Bestellnummer
B580-53-160
Bestellnummer
B580-20-000
Bestellnummer
B580-65-001
Bestellnummer
B580-66-021
B580-66-022
B580-66-023
B580-66-024
B580-66-025
Seite 41
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