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A750-04-882
Issue H
Betriebsanleitung
EHR- und SHR-Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen
der ATEX-Kategorien 1, 2 und 3
Übersetzung der ursprünglichen Anleitung

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Inhaltszusammenfassung für Edwards EHR2102

  • Seite 1 A750-04-882 Issue H Betriebsanleitung EHR- und SHR-Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen der ATEX-Kategorien 1, 2 und 3 Übersetzung der ursprünglichen Anleitung...
  • Seite 2: Herstellererklärung Zum Einbau

    Die relevante technische Dokumentation wurde gemäß Annex VII Teil B der Maschinenrichtlinie 2006/42/EG zusammengestellt. In Reaktion auf eine begründete Anfrage durch staatliche Behörden wird Edwards Ltd relevante Informationen zu der teilweise fertiggestellten Maschine zur Verfügung stellen (per E-Mail). Diese Erklärung gilt für alle Produktseriennummern ab dem Datum dieser Erklärung.
  • Seite 3: Inhaltsverzeichnis

    Anschluss der Stromversorgung an den Pumpenmotor ............25 3.13 Überprüfung der Pumpendrehrichtung ................25 3.14 Prüfung der Leckdichtheit des Systems ................26 3.14.1 Allgemeine Anforderungen ....................26 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite i Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 4 Vor der Rücksendung von Produkten füllen Sie bitte die am Ende dieses Handbuchs befindlichen HS-Formulare aus. Abbildungen Abbildung Seite Empfohlene Konfigurationen des Sperrflüssigkeitsversorgungssystems ........20 Seite ii © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 5 Konstruktionsmaterialien; Prozesskontaktteile: SHR Pumpen ...........12 ATEX-Schutzsystem-Schaltpunkte ..................16 Maximale radiale Belastungen auf die Welle und maximale Belastungen und Momente auf Ein-/Auslass ......................17 Wartungsplan ......................32 Fehlersuche ......................33 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite iii Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 6 A750-04-882 Issue H Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite iv © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 7: Einführung

    Umfang und Definitionen Die vorliegende Betriebsanleitung enthält Anweisungen zu Installation, Betrieb und Wartung der folgenden Flüssigkeitsring-Vakuumpumpen der ATEX-Kategorien 1, 2 und 3 von Edwards (nachfolgend kurz „Flüssigkeitsringpumpe(n)“ oder „Pumpe(n)“ genannt). Verwenden Sie Ihre Pumpe ausschließlich gemäß der vorliegenden Betriebsanleitung. Dieses Handbuch ist vor Montage und Inbetriebnahme der Pumpe durchzulesen.
  • Seite 8: Atex-Richtlinie 2014/34/Eu

    Zündquellenüberwachung Geeignet zum Pumpen von Gas der Gruppe IIC Selbstentzündungstemperatur von Gas, siehe Abschnitt 1.3.2. Geräteschutzstufe (EPL) Ga Geräteschutzstufe (EPL) Gb Geräteschutzstufe (EPL) Gc Seite 2 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 9: Temperaturklassifikation

    Kühler für den jeweiligen Temperaturanstieg ausgelegt sein. Die Dimensionierung der Pumpe und der maximale Temperaturanstieg sind wichtig für die ATEX-Zertifizierung. Die Dimensionierung der Pumpe muss von einem Edwards-Anwendungsspezialisten vorgenommen werden, Wenn die Pumpe nicht von einem Edwards-Anwendungsspezialisten dimensioniert wurde, muss der Endbenutzer sicherstellen, dass die Grenzwerte für die Temperatur der Betriebs- und der Sperrflüssigkeit eingehalten werden.
  • Seite 10: Anwendungen

    Gasatmosphären vorhanden sind. Sie müssen sicherstellen, dass die Pumpe für Ihren Anwendungszweck geeignet ist. Wenn Sie Zweifel hinsichtlich der Eignung der Pumpe für Ihre Anwendung haben, wenden Sie sich an Edwards. Seite 4 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten.
  • Seite 11: Technische Daten

    Maximale Luftfeuchtigkeit der Umgebung 90 % Maximale Betriebshöhe 1000 m Maximale Einlassgastemperatur 80 °C Für höhere relative Luftfeuchtigkeit, Höhe und/oder Einlassgastemperatur wenden Sie sich bitte an Edwards. Mechanische Daten Tabelle 3 - Mechanische Daten Abmessungen Siehe die Betriebsanleitung Ihres Systems Gewicht Siehe die Betriebsanleitung Ihres Systems Prozess- und Sperrflüssigkeitsanschlüsse...
  • Seite 12 7450 25,0 Maximale Pumpendrehzahl basierend auf der Synchrondrehzahl des Motors. † Empfohlene Motorleistung. Wenden Sie sich für höhere Motorleistungen an Edwards. ‡ Die Leistung gibt das Saugvermögen (in m ) und die Wellenleistung (in kW) für die angegebenen Einlassdruckwerte (100 mbara, 200 mbara und 800 mbara) an.
  • Seite 13 7090 35,0 Maximale Pumpendrehzahl basierend auf der Synchrondrehzahl des Motors. † Empfohlene Motorleistung. Wenden Sie sich für höhere Motorleistungen an Edwards. ‡ Die Leistung gibt das Saugvermögen (in m ) und die Wellenleistung (in kW) für die angegebenen Einlassdruckwerte (33 mbara, 100 mbara und 200 mbara) an.
  • Seite 14: Geräusch- Und Schwingungspegel

    Sperr- und Spülflüssigkeit müssen den nachfolgend genannten Anforderungen entsprechen. Andernfalls ist die ATEX-Zertifizierung für die Pumpe und das System ungültig, und beim Betrieb der Pumpe besteht Brand- oder Explosionsgefahr. Seite 8 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 15: Allgemeine Anforderungen

    Dampfblasen an den Prozessauslass übertragen werden, wo sie unter Druck mit möglicherweise zerstörender Kraft zusammenfallen.) Stellen Sie sicher, dass die Temperatur der Sperrflüssigkeits- und Spülflüssigkeitszufuhr so niedrig wie möglich ist. Wenn die Temperatur des Prozessgases über 80 °C liegt, wenden Sie sich an Edwards. 2.6.2 Verwendung von Sperrflüssigkeiten auf Wasserbasis VORSICHT Wenn eine Sperr- oder Spülflüssigkeit auf Wasserbasis in einer Umgebung verwendet wird, in der die...
  • Seite 16: Daten Der Sperrflüssigkeits-/Spülflüssigkeitszufuhr

    Gewicht (SG) von 0,8. Für bestimmte Anwendungen, andere verwendete Werkstoffe und Spülflüssigkeiten mit geringerer spezifischer Wärme und/oder geringerem spezifischen Gewicht siehe die Betriebsanleitung des Systems oder wenden Sie sich an Edwards. Seite 10 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten.
  • Seite 17: Konstruktionsmaterialien

    Wolframkarbid vs. Kohlenstoff Wolframkarbid vs. Kohlenstoff - Elastomere Nitril Nitril - Metallteile Monel® 25 % Chrom-Duplex-Edelstahl - Federn Monel® Hastelloy® Verschlüsse Monel® 25 % Chrom-Duplex-Edelstahl © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 11 Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 18: Konstruktionsmaterialien; Prozesskontaktteile: Shr Pumpen

    Kugel Kugel - Körper Kohlenstoffstahl Edelstahl 316 - Kugeln/Dichtungen EPDM PTFE Verschlüsse Kohlenstoffstahl/Edelstahl 316 Edelstahl 316 Flachdichtungen Komprimierte Faser Komprimierte Faser Dichtungsmittel Polyesterurethan Silikon Seite 12 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 19 SHR 21200, 11500, 21500, 11850, 21850, 12500, 22500, 13500, 23500 ‡ PREN = % Cr + 3,3 % Mo + 16 % N  40 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 13 Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 20 A750-04-882 Issue H Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 14 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 21: Installation

    Pumpenauslassflansches entfernt, ein Temperatursensor nach SIL 1 installiert werden, der so konfiguriert ist, dass er die Pumpe bei hoher Temperatur stoppt. Schaltpunkte siehe Tabelle © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 15 Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 22: Die Kontinuität Muss

    Gewicht (SG) von 0,8. Für bestimmte Anwendungen, andere verwendete Werkstoffe und Spülflüssigkeiten mit geringerer spezifischer Wärme und geringerem spezifischen Gewicht siehe die Betriebsanleitung des Systems oder wenden Sie sich an Edwards. Seite 16 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 23: Sicherheit

    SHR 1750, 2750, 1950, 2950 5800 SHR 21200, 11500, 21500, 11850, 9400 1330 21850 SHR 12500, 22500 14500 1770 1080 SHR 13500, 23500 18500 1770 1080 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 17 Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 24: Verwendung Von Zündfähigen Sperr-/Spülflüssigkeiten

    Es wird empfohlen, ein Rückschlagventil am Pumpeneinlass zu verwenden, damit die Prozessflüssigkeit bei  einem Ausfall der Stromversorgung nicht in die Einlassleitung zurückfließen kann. Seite 18 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 25: Systemkonstruktion Von Sperr- Und Spülflüssigkeitszufuhr

    Pumpe Sperrflüssigkeit zuführt, und wenn die Pumpe für eine externe Spülflüssigkeitszufuhr konfiguriert ist, muss die Pumpe mit Spülflüssigkeit versorgt werden. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 19 Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 26: Empfohlene Konfigurationen Des Sperrflüssigkeitsversorgungssystems

    8. Flüssigkeitsring-Versorgungsleitung 20. Temperatursensor am 9. Indikator des Pumpenprozessauslass Sperrflüssigkeitsdurchsatzes 21. Prozesseinlass-Rückschlagventil 10. Temperaturmesser der Sperrflüssigkeit 22. Prozesseinlass 11. Sperrflüssigkeits-Regelventil 23. Sperrflüssigkeitsdruckmesser 12. Sperrflüssigkeits-Wärmetauscher Seite 20 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 27: Sperr- Und Spülflüssigkeitszufuhrsystem Mit Vollständiger Rückführung

    Soll die Pumpe nicht gleich in Betrieb genommen werden, setzen Sie die Schutzabdeckungen wieder auf. Lagern Sie die Pumpe unter geeigneten Bedingungen, wie in Abschnitt 6.1 beschrieben. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 21 Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 28: Aufstellen Der Pumpe

    Installieren Sie den Motor an der Pumpe. Beachten Sie dabei die Hinweise in der zusammen mit dem Motor gelieferten Betriebsanleitung des Herstellers. Vergewissern Sie sich, dass der Motor für den Einsatz mit der Pumpe geeignet ist. Seite 22 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 29: Installation Eines Antriebs- Und Kraftübertragungssystems

    Verbinden Sie die Komponenten des Antriebs- und Kraftübertragungssystems mit der Antriebswelle der Pumpe, wie in der Anleitung des Herstellers beschrieben, die diesen Komponenten beilag. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 23 Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 30: Verbindung Des Pumpsystems Mit Der Erde (Masse)

    3.11.2 Anschluss des Prozesseinlasses Verwenden Sie eine passende Dichtung und schließen Sie die Leitung von Ihrem Vakuumsystem an den Prozesseinlass an der Pumpe an. Seite 24 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 31: Anschluss Des Prozessauslasses

    Andernfalls besteht Explosionsgefahr. Überprüfen Sie die Drehrichtung der Pumpe wie folgt: 1. Die bevorzugte Methode von Edwards besteht darin, die Drehrichtung des Motorlüfters visuell zu prüfen. Wenn dies nicht möglich ist, entfernen Sie vorübergehend alle Abdeckungen über der Antriebskupplung oder dem Antriebsriemen.
  • Seite 32: Prüfung Der Leckdichtheit Des Systems

    Nur so kann verhindert werden, dass Stoffe aus dem System austreten und Luft in das System eintritt. Wenn Sie keinen Druckanstiegstest durchführen können, muss das System so konfiguriert werden, dass der Sauerstoff ständig kontrolliert wird; siehe Abschnitt 3.3. Seite 26 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 33: Betrieb

    Ansaug-/Ablassventil (6). Warten Sie, bis Flüssigkeit aus dem Ansaug-/Ablassventil (6) fließt. Die Pumpe ist jetzt vorbereitet. Schließen Sie das Sperrflüssigkeitsring-Zufuhrventil (14) und dann das Ansaug-/Ablassventil (6). © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 27 Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 34: Kavitation Und Wasserschlag

    Siehe Tabelle 5 und 6. Edwards empfiehlt die Installation eines Sperrflüssigkeits-Durchflussmessers (10), aber alternativ kann auch ein Druckmesser installiert werden. Überwachen Sie in diesem Fall den Druck und passen Sie das Sperrflüssigkeits-Regelventil (11) an, bis der Druckmesser ca. -0,6 bis 0,0 barg anzeigt, je nach Pumpeneinlassdruck.
  • Seite 35: Abschalten

    2. Schließen Sie alle Absperrventile in der Prozesseinlassleitung. 3. Halten Sie die Pumpe sofort an. 4. Schließen Sie alle Absperrventile in der Prozessauslassleitung. 5. Schließen Sie das Spülflüssigkeitszufuhrventil (2), falls vorhanden. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 29 Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 36 A750-04-882 Issue H Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 30 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 37: Wartung

    Plan enthält Detailangaben zu den Wartungsvorgängen, die erforderlich sind, um den sachgemäßen Betrieb der Pumpe sicherzustellen. Anweisungen zu den einzelnen Wartungsarbeiten finden Sie im angegebenen Abschnitt. Verwenden Sie bei der Wartung der Pumpe Ersatzteile von Edwards, siehe Abschnitt 7.3.
  • Seite 38: Überprüfung Der Pumpe

    Prüfung der Leitungen und Anschlüsse Hinweis: Edwards empfiehlt, nach Möglichkeit die Ursache von Beschädigungen oder Korrosion zu ermitteln und Korrekturmaßnahmen zu ergreifen, um künftige Schäden an Bauteilen zu verhindern. Gehen Sie folgendermaßen vor, um die Leitungen und Anschlüsse zu überprüfen: 1.
  • Seite 39: Atex-Sicherheitseinrichtungen Auf Korrekte Funktion Prüfen

    Lager nach 24.000 Stunden ausgetauscht werden. Bei Pumpen der ATEX-Kategorien 2 und 3 müssen die Lager nach 50.000 Stunden ausgetauscht werden. Die Überholung der Pumpe muss in einem Edwards-Kundendienstzentrum durchgeführt werden. Wenden Sie sich zur Veranlassung einer Überholung an Ihren Lieferanten oder die nächstgelegene Vertretung von Edwards.
  • Seite 40 Fehlerursache trotzdem nicht ermitteln ließ oder wenn der Fehler nicht behoben werden kann, wenden Sie sich an Ihren Lieferanten oder an Edwards. Seite 34 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 41: Lagerung Und Entsorgung

    Schutzausrüstung (PPE), wenn Sie die Pumpe für das Einlagern vorbereiten. Hinweis: Edwards empfiehlt, nach Möglichkeit die Ursache von Beschädigungen oder Korrosion zu ermitteln und Korrekturmaßnahmen zu ergreifen, um künftige Schäden an Bauteilen zu verhindern. Gehen Sie wie folgt vor, um die Pumpe vom System zu trennen und für die Einlagerung vorzubereiten: 1.
  • Seite 42: Langfristige Lagerung

    5.6) und  führen Sie 10 Drehungen der Antriebswelle durch. Bereiten Sie die Pumpe vor und installieren Sie sie wie in Abschnitt 3 beschrieben.  Seite 36 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 43: Entsorgung

     Sperr-/Spülflüssigkeit, die mit gefährlichen Stoffenkontaminiert wurde.  Gebrauchte Sperrflüssigkeit auf Wasserbasis oder Bauteile, die mit der verbrauchten Sperrflüssigkeit auf  Wasserbasis kontaminiert wurden. © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Seite 37 Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 44 A750-04-882 Issue H Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 38 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.
  • Seite 45: Service Und Ersatzteile

    Anlagen und Geräte, an denen Wartungs-, Reparatur- oder Instandsetzungsarbeiten durchgeführt wurden, gehen mit voller Gewährleistung an den Kunden zurück. Das Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe kann auch Ingenieure von Edwards zum Vor-Ort-Support für Wartung, Service oder Reparatur der Anlage bereitstellen. Weitere Informationen über Serviceoptionen erhalten Sie beim Kundendienstzentrum in Ihrer Nähe oder bei einer Vertretung von Edwards.
  • Seite 46 A750-04-882 Issue H Diese Seite bleibt absichtlich frei. Seite 40 © Edwards Limited 2020. Alle Rechte vorbehalten. Edwards und das Edwards-Logo sindWarenzeichenvon Edwards Limited.

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