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Abbildung 7 — Typisches Pumpsystem mit einer EXT255Hi/EXT255HVi
1. Vakuumkammer 1
2. Hochvakuummessgerät
3. Schwingungsdämpfer
4. Ansaugsieb
5. EXT-Pumpe
6. Nicht belegt
7. Vorvakuummessgerät
8. Faltenbälge
9. Adsorptionsfalle
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10. Vorpumpe
11. Ölnebelfilter
12. Kühlwasser-Anschlüsse
13. EXC-Controller
14. Luftkühler
15. Belüftungsanschluss-
Adapter
16. Drosselelement PRX10
B753–03–882 Ausgabe F
17. Geregelte Spülgas-
Zuleitung
18. Belüftungsventil
19. Alternative Position für
Belüftungsventil
20. Vakuumkammer 2
21. Einlassfilter
22. Zwischenstufen-Anschluss
23. Vorvakuumventil
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