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Tav-Belüftungsventil Und Belüftungsanschluss-Adapter; Vrx-Belüftungsdrossel; Prx-Spülgas-Drosselventil; Tabelle - Edwards EXT406PX Betriebsanleitung

24 volt turbomolekular-vakuumpumpe
Inhaltsverzeichnis

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B760-10-882 Issue B
7.4.4
TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter
Zum Belüften des Systems stehen zwei Magnet-Belüftungsventile zur Verfügung. Die Ventile sind für 24 V Gleichstrom
ausgelegt; es sind Schließer, die automatisch vom TIC-Controller betätigt werden können. Das Magnetventil wird
anstelle des manuell betätigten Ventils eingebaut oder kann alternativ mit einem Adapter (im Lieferumfang des
Ventils enthalten) montiert und mit einem geeigneten Anschluss mit DN10KF-Flansch am Vakuumsystem eingesetzt
werden. Mittels Belüftungsanschluss-Adapter kann der Belüftungsanschluss oder der Spülanschluss mit jedem
geeigneten KF10-Anschluss verwendet werden. Siehe
Tabelle 12 - TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter
Produkt
TAV5-Belüftungsventil
TAV6-Belüftungsventil
Adapter KF10 mit
1/8"-BSP-Außengewinde
7.4.5
VRX-Belüftungsdrossel
Verwenden Sie eine VRX-Belüftungsdrossel mit fester Bohrung, um den Durchsatz von Belüftungsgas in die Pumpe
zu begrenzen. Weitere Informationen zur Auswahl der korrekten VRX-Belüftungsdrossel finden Sie in
Siehe

Tabelle

13.
Belüftungsdrossel
VRX10
VRX20
VRX30
VRX50
VRX70
7.4.6
PRX-Spülgas-Drosselventil
Ein modifizierter DN10KF-Zentrierring ist zur Filterung des Spülgases und zur Begrenzung seines Durchsatzes auf den
empfohlenen Wert von 25 sccm erhältlich. Das Drosselventil eignet sich für alle mit einem Spülanschluss
ausgestatteten EXT-Pumpen.
Spülgasdrossel
Seite 34
Bestellnummer
B580-66-010
B580-66-020
B580-66-011
Tabelle 13 - VRX-Belüftungsdrossel
Öffnungsdurchmesser
Tabelle 14 - PRX-Spülgas-Drosselventil
PRX10
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Tabelle
12.
Öffnungsdurchmesser
0,50 mm
1,00 mm
0,1 mm
0,2 mm
0,3 mm
0,5 mm
0,7 mm
Bestellnummer
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Vakuumsystem (l)
< 5
< 20
Tabelle
Bestellnummer
B580-66-021
B580-66-022
B580-66-023
B580-66-024
B580-66-025
B580-65-001
6.

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