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Bx-Heizmanschette (Nur Mir Conflat-Flansch); Fl20K Adsorptionsfalle; Tav-Belüftungsventil Und Belüftungsanschluss-Adapter; Acx-Luftkühler - Edwards Ext556H Betriebsanleitung

Compound-turbomolekularpumpen
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Inhaltsverzeichnis
B777-50-882 Issue C
7.4.5

BX-Heizmanschette (nur mir ConFlat-Flansch)

Eine BX-Heizmanschette beschleunigt die Entgasung der Pumpe und ermöglicht, niedrigere Drücke zu erzielen. Sie
kann auch zum Schutz der Pumpe vor Kondensation und Verunreinigungen eingesetzt werden. Die Heizmanschetten
sind in Versionen mit 110 – 120 V oder 220 – 240 V erhältlich und können über den Anschluss auf der Rückseite des
EXC-Controllers mit Strom versorgt werden.
Pumpe
EXT556H/HF DN160CF
7.4.6

FL20K Adsorptionsfalle

Die Adsorptionsfalle minimiert das Rückströmen von Öldämpfen aus der Vorvakuumpumpe und wird empfohlen, wenn
höchste Systemreinheit erforderlich ist.
Adsorptionsfalle
FL20K
7.4.7
TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter
Zum Belüften des Systems stehen zwei Belüftungs-Magnetventile zur Verfügung. Die Ventile sind für 24 V DC
ausgelegt, sie sind normalerweise geöffnet und können automatisch vom EXC-Controller aus betätigt werden. Das
Magnetventil wird an Stelle des manuell betätigten Ventils eingebaut oder kann alternativ mit einem Adapter (im
Lieferumfang des Ventils) montiert und mit einem geeigneten Anschluss mit KF10-Flansch an Ihrem Vakuumsystem
eingesetzt werden.
Der Belüftungsanschluss-Adapter oder der Spülgasanschluss kann mit jedem geeigneten DN10-Bauteil verwendet
werden: siehe
Abbildung
6.
Tabelle 16 – TAV-Belüftungsventil und Belüftungsanschluss-Adapter
Produkt
TAV5-Belüftungsventil
TAV6-Belüftungsventil
Adapter KF10 mit 1/8" BSP-Außengewinde
7.4.8
ACX-Luftkühler
An die EXT-Pumpe kann ein ACX-Luftkühler montiert werden. Sehen Sie jedoch in
um die Eignung der Luftkühlung für eine bestimmte Anwendung zu überprüfen.
Pumpe
EXT556H/HF
Seite 34
Tabelle 14 – BX-Heizmanschette
Heizmanschette
BX501 (110 V)
BX501 (240 V)
Tabelle 15 – FL20K Adsorptionsfalle
Bestellnummer
A133-05-000
Bestellnummer
B580-66-010
B580-66-020
B580-66-011
Tabelle 17 – ACX-Luftkühler
Luftkühler
ACX555
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Bestellnummer
B580-52-044
B580-52-064
Abschnitt 3.7
Bestellnummer
B580-53-561
© Edwards Limited 2008. Alle Rechte vorbehalten.
und
Tabelle 5
nach,
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Diese Anleitung auch für:

Ext556hf

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