Den Gepumpten Gasen Ausgesetzte Materialien - Edwards Ext556H Betriebsanleitung

B777-50-882 Issue C
2.6

Den gepumpten Gasen ausgesetzte Materialien

Die folgenden Materialien und Komponententypen sind den gepumpten Gasen ausgesetzt: Aluminiumlegierungen,
rostfreie Stähle, O-Ringe aus Fluorelastomer und Neopren, Schmierstoffe auf Kohlenwasserstoffbasis, Magnete aus
seltenen Erden, Siliziumnitrid, Phenolharz und Glasfaser-Epoxidharz.
Parameter
Masse EXT556H DN160ISO-K
Masse EXT556H DN160CF
Masse EXT556HF DN160ISO-K
Masse EXT556HF DN160CF
Hochvakuumflansch
Vorvakuumflansch
Belüftungsanschluss
Spülanschluss
Saugvermögen am HV-Anschluss
N
2
He
H
2
Ar
Kompressionsverhältnis am
HV-Anschluss
N
2
He
H
2
Ar
‡
Endvakuum
CF
ISO
Mindestsaugvermögen der
Vorvakuumpumpe
Empfohlene Vorvakuumpumpe
Maximaler kontinuierlicher
Einlassdruck
**
(Pumpen leichter Gase)
Druckluftkühlung, 30° C
Umgebungstemp.
Druckluftkühlung, 35° C
Umgebungstemp.
Wasserkühlung mit 15 °C
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Tabelle 5 – Technische Daten
EXT556H
13,4 kg
21,2 kg
19,3 kg
20,5 kg
DN160ISO-K/DN160CF
DN25KF
1/8" BSPP-Rohrgewinde
1/8" BSPP-Rohrgewinde
*
-1
540 l s
-1
580 l s
-1
500 l s
-1
510 l s
10
>10
8
10
6
10
10
>10
-10
<10 mbar
-9
<2 x 10 mbar
3 -1
12 m h
RV12
-3
1,5 x 10 mbar
-3
1,0 x 10 mbar
-3
2,0 x 10 mbar
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Anmerkungen
†
Pb < 20 mbar
Pb < 12 mbar
Pb < 7 mbar
Pb < 20 mbar
Diese Drücke beziehen sich auf
die Variante B777-51-000 mit
Aluminiumummantelung. Für andere
Pumpenvarianten gelten bei
Luftkühlung davon abweichende
Leistungswerte.
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