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FISCHER MMS Inspection DFT Betriebsanleitung Seite 170

Gerätevarianten high/messgeräte zur schichtdickenmessung
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Anzahl aller gemessenen Areas im Batch
nAr
Anzahl der insgesamt gemessenen Spotwerte im Batch (Batch-Typ
nSp
SSPC)
Anzahl der Messwerte pro Area, die unterhalb 0,9 x NDFT liegen (Batch-
n<90%
Typ IMO)
Anzahl der Messwerte pro Area/Batch, die zwischen 0,9 x NDFT und
n<ΔND
NDFT liegen (Batch-Typ IMO)
Anzahl der Messwerte pro Area, die oberhalb des MDFT liegen (Batch-Typ
n>MD
IMO)
Anzahl aller gemessenen Significant Surface Areas im Batch (Batch-Typ
nSSA
SIS)
Anzahl der insgesamt gemessenen Point-Werte (TA) im Batch/pro SSA
nTA
(Batch-Typ SIS)
Oberer Grenzwert
OGW
Anzahl der Messwerte, die oberhalb des oberen Grenzwertes liegen
>OGW
Anzahl gemessener Werte/Anzahl zu messender Werte in einem Point
PT
(Punkt)
Spannweite (Range) R ist gleich der Differenz zwischen dem größten
R
Wert (Maximum) und dem kleinsten Wert (Minimum) eines Blocks oder
Batches, siehe auch Abschnitt "Displaytexte – Auswahl statistische Kenn-
größen"
Standardabweichung zum Mittelwert, siehe auch Abschnitt "Displaytexte
s
– Auswahl statistische Kenngrößen"
Anzahl der gemessenen Significant Surface Areas (SSA, Batch-Typ SIS)
SANo
Anzahl gemessener Werte bzw. Anzahl zu messender Werte in einem
Spot
Spot
Significant-Surface-Area-Nummer = Nummer des interessierenden
SSA
Oberflächenteilbereichs (Batch-Typ SIS)
Anzahl gemessener Werte bzw. Anzahl zu messender Werte in der Test-
TA
Area (Messareal) (Batch-Typ SIS)
Unterer Grenzwert
UGW
Anzahl der Messwerte, die unterhalb des unteren Grenzwertes liegen
<UGW
164
®
MMS
Inspection DFT High

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