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Einstellungen für die Messung
Damit Sie messen können, muss ein Batch (Messdatei) angelegt und geöffnet
sein. Einstellungen wie die Messung erfolgen soll speichern Sie im Batch, z. B.
Grenzwertüberwachung und Gruppierung der Messwerte in Messwertblöcken
während der Messung. In der Batch-Datei ist ebenfalls die Verknüpfung zu der
Kalibrierung gespeichert, auf die die Messungen referenziert werden.
Ändert sich ein Parameter, liegt eine neue Messaufgabe vor und Sie müssen ei-
nen neuen Batch anlegen.
Eine Beschreibung der Batch-Typen siehe Seite 12.
Übersicht der möglichen Einstellungen, die Sie vor einer Messung erledigen
müssen.
Einstellungen
Batch neu anlegen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 24
Batch neu anlegen durch Auswahl eines Batch-Typs. . . . . . . . . . . . . . . . 24
Batch neu anlegen durch Kopie . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 26
Batch öffnen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 27
Einstellungen speziell für die Batch-Typen IDV, ELY, SSF und RSF . . . . . . . . . 29
Grenzwertüberwachung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 29
Automatische Blockbildung . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 31
Durchschnittswerte aufnehmen . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 33
Einstellungen speziell für den Batch-Typ SSPC . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 43
Messwerte pro Spot/Spots pro Area/Grenzwertüberwachung/
Restriction Level
Einstellungen speziell für die Batch-Typen IMO und ISO. . . . . . . . . . . . . . . . . . . 44
NDFT/MDFT (DFTmax)/Messwerte pro Area
Einstellungen speziell für die Batch-Typen AS und SIS . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 46
Messwerte pro Spot/Test Area und Spots pro Area/
Test Areas pro SSA
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Seite
®
MMS
Inspection DFT High
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