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FISCHER MMS Inspection DFT Betriebsanleitung Seite 163

Gerätevarianten high/messgeräte zur schichtdickenmessung
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der "Genauigkeit des Gerätes". Richtigkeit ist aber sehr abhängig von der Ein-
stellung (z.B. der Kalibrierung) und Überwachung des Gerätes. Diese hängen je-
doch von der Kompetenz und Zuverlässigkeit des Anwenders ab. Weil das so
ist, kann der Hersteller eines Gerätes auch keine Garantie für die Richtigkeit der
mit diesem Gerät gemessen Werte abgeben oder gar einen Aufkleber für die
Richtigkeit der Messwerte am Gerät anbringen. Jedes Messergebnis ist so rich-
tig oder falsch, wie es der Anwender zulässt. Richtigkeit kann deshalb auch
kein Kriterium für die Qualität eines Gerätes sein, höchstens ein Hinweis auf
seine Stabilität (Richtigkeit während längerfristigen Betriebs des Gerätes ohne
zwischenzeitlich notwendige Korrekturmaßnahmen).
Variationskoeffizient V [%]
Prozentuale Streuung einer Messreihe, d. h. Standardabweichung bezogen auf
den Mittelwert. V [%] ist eine charakteristische Prozesskonstante. Eine plötzli-
che Änderung von V [%] weist auf eine Änderung der Prozessbedingungen hin.
Vergleichsbedingungen
siehe unter Vergleichspräzision
Vergleichspräzision
Vergleichpräzision beschreibt die zufälligen Abweichungen zwischen verschie-
denen Geräten, kalibriert mit verschiedenen Kalibrierstandards, bei wiederhol-
ten Messungen durchgeführt von verschiedenen Personen an dem gleichen
Prüfteil mit gleicher Messstelle (Messungen unter Vergleichbedingungen).
Wenn man ein Prüfteil, deren richtiges Messergebnis man an einer markierten
Messstelle kennt, von einem anderen Gerät und einem anderen Anwender an
der gleichen Stelle gemessen wird, wird normalerweise ein abweichendes
Messergebnis auftreten. Denn selbst wenn man jedes Gerät richtig kalibriert
und geprüft hätte, würden dennoch unterschiedliche Ergebnisse gemessen
werden. z, B. bei einem Ringversuch mit demselben Prüfteil mit markierter Re-
ferenzfläche. Das liegt an den zufälligen Abweichungen jeder Einzelmessung
und damit jedes Mittelwertes einer Messreihe, an den zufälligen Abweichungen
bei jeder Kalibrierung sowie auch daran, dass jeder Kalibrierstandard mit einem
Nennwert beschriftet ist, der durch das Ausmessen mit einer unvermeidbaren
Abweichung gegenüber dem wahren Wert behaftet ist (ausgedrückt durch den
Garantiefehler).
Wiederholbedingungen
siehe unter Wiederholpräzision
®
MMS
Inspection DFT High
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