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Variationskoeffizient, prozentuale Streuung einer Messreihe, Standard-
V[%]
abweichung bezogen auf den Mittelwert, siehe auch Abschnitt "Display-
texte – Auswahl statistische Kenngrößen"
Messwert
x
Spotwert, Mittelwert aus n Einzelmesswerten pro Spot
xSp
Test-Area-Wert, Mittelwert aus n Einzelmesswerten pro Test-Area (TA)
xTA
(Batch-Typ SIS)
Blockmittelwert eines Messwertblocks mit n Messwerten oder arithmeti-
x
scher Mittelwert, bestimmt aus allen durchgeführten Messungen, siehe
auch Abschnitt Displaytexte – Auswahl statistische Kenngrößen
x
Area-Mittelwert über n Spotwerte (Spots) für eine Area
Ar
x
Area-Mittelwert über n TA-Werte (Test Areas) für eine Significant Surface
SSA
Area
Gesamtmittelwert über alle Area-Mittelwerte im Batch
x
Ar
Gesamtmittelwert über alle TA-Werte im Batch
x
SSA
Prozentualer Anteil der Messwerte pro Area/Batch, die zwischen
%ΔND
0,8 x NDFT und NDFT liegen (Batch-Typ ISO)
Prozentualer Anteil der Messwerte pro Area/Batch, die zwischen
%<ΔND
0,9 x NDFT und NDFT liegen (Batch-Typ IMO)
Prozentualer Anteil aller Messwerte im Batch, die unterhalb 0,8 x NDFT
%<80
liegen (Batch-Typ ISO)
Prozentualer Anteil der Messwerte pro Area, die unterhalb 0,9 x NDFT lie-
%<90
gen (Batch-Typ IMO)
Prozentualer Anteil der Messwerte pro Area, die oberhalb des MDFT lie-
%>MD
gen (Batch-Typ IMO)
Anzahl der Messwerte, die unterhalb des untereren Grenzwertes liegen
<Wert
Batch-Typ ISO: 0,8 x NDFT
Batch-Typ SSPC: entsprechend dem ausgewählten Restriction Level
Batch-Typ IMO: 0,9 x NDFT
Anzahl der Messwerte, die oberhalb des oberen Grenzwertes liegen
>Wert
Batch-Typ ISO: Eingegebene maximal zulässige Schichtdicke
®
MMS
Inspection DFT High
165
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