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Der Weg zur Messung
Alle relevanten Einstellungen für die
Messung der Schichtdicke eines be-
schichteten Prüfteils
werte selbst werden im Messgerät in
einer Datei gespeichert. Eine solche
Datei wird als Batch bezeichnet.
In dem Batch legen Sie fest wie die
Messung erfolgen soll, z. B., ob wäh-
rend der Messung Grenzwerte über-
wacht oder die Messwerte gruppiert
in Messwertblöcken erfasst werden
sollen. Weiterhin müssen Sie dem
Batch eine Kalibrierung (Referenz)
zuweisen, um messen zu können.
In 3 Schritten zur Messung
1. Messgerät einschalten,
Nach dem Einschalten
erscheint die Messansicht des
Batches, der beim Ausschalten
geöffnet war.
2. Batch öffnen oder neu anlegen
Batch öffnen, siehe Seite 27
Batch neu anlegen, siehe
Seite 24
3. Auf dem Prüfteil messen, siehe
Seite 48
Wird die vorgegebene Richtig-
keit bei der Messung nicht ein-
gehalten, müssen Sie die Kalib-
rierung überprüfen, siehe
Seite 74.
1. Mit Prüfteil wird in dieser Betriebsanleitung sowohl ein be-
schichtetes Teil beliebiger Form und Größe als auch eine Flä-
che, mit mehreren Messstellen bezeichnet.
®
MMS
Inspection DFT High
1
und die Mess-
NF/FE
Batch 001
IDV
49.0
47.3
44.5
Nr
1
n
X
46.8
s
Min
44.9
Max
BLOCK
Beispiel für die Messansicht
Statistik mit eingestellten
Grenzwerten
Batch 001
Statistik
Batch bearbeiten
Batches
Kalibrierungen
Geräteeinstell.
Hauptmenü (Beispiel: Batch
001 ist geöffnet)
µm
10
1.81
48.5
OK
21
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