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FISCHER MMS Inspection DFT Betriebsanleitung Seite 159

Gerätevarianten high/messgeräte zur schichtdickenmessung
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Folie
siehe unter Kalibrierstandard
Genauigkeit
Beim wissenschaftlichen Arbeiten gibt es zwei Arten von Zahlen, genaue Zah-
len (deren Werte genau bekannt sind) und ungenaue Zahlen (Zahlen die mit ei-
ner Unsicherheit behaftet sind). Messungen sind immer mit einer Unsicherheit
behaftet. Jedes Messgerät weist einen Fehler der Messeinrichtung auf und
Menschen führen Messungen auf unterschiedliche Arten und Weisen durch
(menschliche Fehler). Der Begriff Genauigkeit wird im Alltag fälschlicherweise
häufig mit Präzision gleichgesetzt. Dabei bedeuten Genauigkeit und Präzision
jedoch verschiedene Dinge.
Der Begriff "Genauigkeit" ist in der Messtechnik ziemlich nichtssagend und be-
deutungslos im Gegensatz zu den Begriffen Richtigkeit und Präzision. Im inter-
nationalen Bereich der Normung gilt analog: Der Begriff Accuracy (Genauigkeit)
ist nur qualitativ erklärbar. Die Genauigkeit ist als Oberbegriff für Richtigkeit
und Präzision zu betrachten und in nachfolgender Darstellung schematisch
dargestellt.
Richtigkeit (Trueness)
Übereinstimmung zwischen wahrem
Wert und dem Mittelwert der Messergeb-
nisse, die unter praktischen Gegeben-
heiten unablässig gewonnen werden
Schematische Darstellung der Begriffe Genauigkeit, Richtigkeit und Präzision
Histogramm
Grafische Darstellung, die die Anzahl aller Messwerte in bestimmten Messgrö-
ßenbereiche (Klassen) darstellt. Die Klassenbreiten (Breite der Rechtecke) sind
immer gleich und werden für den eingestellten Grenzwertbereich (Toleranz-
breite) automatisch berechnet. Die Aussagefähigkeit statistischer Ergebnisse
hängt unter anderem von der Kurvenform im Histogramm ab. Eine Abweichung
von der Normalverteilung weist eventuell auf systematische Einflüsse bei der
Messung hin. Die Darstellung bezieht sich auf den gesamten Batch.
®
MMS
Inspection DFT High
Genauigkeit (Accuracy)
Übereinstimmung zwischen den ein-
zelnen Messergebnissen bei genau
festgelegten Versuchsbedingungen
Wiederholpräzision
(Repeatability)
Präzision (Precision)
Vergleichspräzision
(Reproducibility)
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