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Anschluss Des Einlassflansches Und Einbaulage; Korrekte Installation Des Ansaugsiebs - Edwards EXT406PX Betriebsanleitung

24 volt turbomolekular-vakuumpumpe
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B760-10-882 Issue B
Im unwahrscheinlichen Fall eines Bruchs der Pumpe kann es sein, dass das Ansaugsieb nicht alle
Schmutzpartikel in der Pumpe auffängt. Stellen Sie sicher, dass das System sämtliche
Schmutzpartikel abfangen kann, die möglicherweise aus der Pumpe entweichen.
3.3.3

Anschluss des Einlassflansches und Einbaulage

Es ist wichtig, dass die Pumpe in der korrekten Einbaulage montiert wird. Eine falsche Einbaulage kann zu einem
vorzeitigen Ausfall der Pumpe führen.
Lagern Sie die Pumpe nicht so, dass die Pumpeneinlässe nach unten zeigen, und auch nicht so, dass das Ende
des Pumpengehäuses nach unten und der Pumpenkörper mit dem elektrischen Anschluss direkt nach oben zeigt.
In beiden Fällen kann das zur Schmierung des unteren Lagers verwendete Öl aus einem Behälter an der
Pumpenbasis in den Pumpenmechanismus oder das Vakuumsystem eindringen. Dies kann die Leistung
beeinträchtigen und die Lebensdauer des Lagers verkürzen.
Die Pumpe kann entweder mittels des Pumpenfußes oder des Flanschs montiert werden. Wenn die Pumpe mittels des
Flanschs an das System angeschlossen wird, darf der Abluftanschluss nicht mehr als 60° über die Vertikale hinaus
geneigt werden (siehe
Abbildung
vorstehenden Vorsichtshinweis beachten.
Achten Sie darauf, dass die Pumpeneinlässe und alle damit verbundenen Komponenten sauber und staubfrei sind.
Wenn Pumpeneinlässe nicht sauber gehalten werden, kann dies zu längeren Abpumpzeiten führen oder dazu, dass
der erforderliche Druck in der HV-Kammer nicht erreicht wird.
Bei der Montage mittels des Pumpenfußes 5 x M8 Schrauben verwenden, die mit einem
Drehmoment von wenigstens 10 Nm (7,5 lb ft) zur Befestigung der Montage angezogen werden.
Verwenden Sie ISO898-1-Material der Klasse 12.9 oder höher.
Verwenden Sie die mit der Pumpe gelieferten O-Ringe und mindestens 8 Spannklammern mit
einem Drehmoment von 20 Nm oder einen rotierbaren Flansch zur Verbindung des
Hochvakuumflanschs der Pumpe mit dem Vakuumsystem.
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WARNUNG
Abbildung 7 - Korrekte Installation des Ansaugsiebs
1. Hochvakuumflansch
2. Ansaugsieb
VORSICHT
8). Anderenfalls kann Öl in den Pumpenmechanismus gelangen. Bitte auch den
WARNUNG
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