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B760-10-882 Issue B
4.2
Abschalten
Hinweis:
Nur in einem Notfall dürfen Sie das Belüftungsventil schnell öffnen, um den Pumpenrotor in der
kürztestmöglichen Zeit zu verlangsamen.
Um ein manuell gesteuertes Pumpsystem mit einem manuellen Belüftungsventil und einem TIC-Controller
abzuschalten, gehen Sie vor, wie nachfolgend beschrieben.
1. Schließen Sie das Ventil in der Vorvakuumleitung, mit der die Pumpe mit der Vorvakuumpumpe verbunden ist.
2. Deaktivieren Sie den Startbefehl für die Pumpe.
3. Wenn die Drehzahl der Pumpe auf 50 % der vollen Drehzahl gefallen ist, drehen Sie das manuelle
Belüftungsventil langsam gegen den Uhrzeigersinn, um es zu öffnen. Siehe
Belüftungsprozedur.
4.3
Sicherheitsverriegelungen und Steuersystem
Nachfolgend werden die Schutzvorrichtungen und Sicherheitsverriegelungen der Pumpe beschrieben. Eine
ausführliche Erläuterung dieser Merkmale finden Sie in der Betriebsanleitung zum Controller.
4.3.1
EXDC-Antriebsmodule
Das EXDC-Antriebsmodul überwacht die Temperatur der Pumpe sowie deren Leistungsaufnahme. Wenn das EXDC-
Antriebsmodul zu hohe Werte für Leistungsaufnahme und Temperatur feststellt, wird die Drehzahl des
Pumpenmotors so weit verringert, bis beide Werte wieder im normalen Bereich liegen.
4.3.2
TIC-Controller (falls verwendet)
Der TIC-Controller überwacht die Pumpendrehzahl. Wenn der EXDC-Controller zu hohe Werte für Leistungsaufnahme
und Temperatur der Pumpe feststellt, wird die Betriebsdrehzahl verringert. Wenn diese Drehzahl für einen vom
Benutzer definierten Zeitraum unter 50 % sinkt, unterbricht der TIC-Controller automatisch die Stromversorgung.
Anschließend wird auf dem TIC-Controller eine Fehlermeldung angezeigt. Wenn auf dem TIC-Controller die
Fehlermeldung „Droop Timeout" angezeigt wird, schalten Sie die Vorvakuumpumpe sofort aus und belüften Sie die
Pumpe. Sobald die Pumpe angehalten hat, beseitigen Sie die Ursache des Problems und starten Sie die Pumpe wieder.
Wenn die Pumpe heiß ist, warten Sie vor einem erneuten Start ab, bis sie abgekühlt ist.
4.4
Ausheizen (nur ConFlat
Während des Ausheizens von Pumpe und/oder System sollte eine HV-Flansch-Temperatur von 65 °C nicht
überschritten werden. Der Betrieb mit einer höheren HV-Flansch-Temperatur kann zu überhöhter Temperatur
des Flügelrades führen und die Lebensdauer des Produkts verkürzen.
Wenn die Pumpe (und das Vakuumsystem) beheizt wird, beschleunigen Sie damit den Entgasungsprozess, sodass die
Pumpe das Endvakuum in kürzestmöglicher Zeit erreicht. Das Beheizen der Pumpe verhindert auch, dass Dämpfe im
Inneren der Pumpe kondensieren.
Sie können dafür die Edwards BX-Heizmanschette (siehe
dem Hochvakuumflansch um die Pumpe herum an.
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®
-Variante)
VORSICHT
Abschnitt
7) verwenden. Bringen Sie die Manschette unter
© Edwards Limited 2013. Alle Rechte vorbehalten.
Edwards und das Edwards-Logo sind Warenzeichen von Edwards Limited.
Abschnitt 3.4
für die
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Fehlerbehebung
