Pumpen Ohne Gasspülung; Pumpen Mit Gasspülung - Edwards Ext556H Betriebsanleitung

B777-50-882 Issue C
2.2.1 Pumpen ohne Gasspülung
Die Pumpen sind zum Pumpen der folgenden Restgase ausgelegt, die normalerweise in Hochvakuumsystemen
eingesetzt werden:
Luft
Stickstoff
Krypton
Neon
Wasserstoff
Propan
Methan
Kohlendioxid
Kohlenmonoxid
Helium
Argon
Ethan
Butan
Sie können die Pumpen zum Pumpen von Sauerstoff und Wasserdampf einsetzen, sofern die folgenden Bedingungen
eingehalten werden:
Sauerstoff
Die Sauerstoffkonzentration muss, auf das Volumen bezogen, geringer als 20 % sein, sofern keine
Lagerspülung gemäß den Angaben in
Wasserdampf
Sie müssen sicherstellen, dass der Dampf nicht im Innern der Pumpe kondensiert – siehe hierzu
Abschnitt 3.7.3.
Wenn Sie ein nicht in der obigen Liste enthaltenes Gas pumpen möchten, lassen Sie sich von Ihrem Lieferanten
beraten. Wenn Sie nicht mit Ihrem Lieferanten Verbindung aufnehmen, verfällt möglicherweise Ihre Gewährleistung für
die Pumpe.
Die Pumpen sind nicht zum Pumpen von aggressiven oder korrosiven Gasen geeignet.
2.2.2 Pumpen mit Gasspülung
Wenn die Spülung mit einem Inertgas erfolgt, können mit den Pumpen auch Sauerstoffkonzentrationen über 20 %
(auf das Volumen bezogen) gepumpt werden.
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Abschnitt 2.2.2 durchgeführt wird.
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