Technische Daten; Betriebs- Und Lagerungsbedingungen; Leistung; Allgemeines - Edwards Rv3 Betriebsanleitung

3. Technische Daten

3.1 Betriebs- und Lagerungsbedingungen

Tabelle 1 Betriebs- und Lagerungsbedingungen
Parameter
Umgebungstemperatur (Betrieb)
Umgebungstemperatur (Lagerung)
Normale Oberflächentemperatur des Pumpenge-
häuses*
Maximale Luftfeuchtigkeit (Betrieb)
Maximale Höhe (Betrieb)
Kontaminationsgrad
Anlagenkategorie
Einsatzbereich
* Im Endvakuum, bei einer Umgebungstemperatur von 20 °C.

3.2 Leistung

3.2.1 Allgemeines

Hinweis:
In der Tabelle: Allgemeine Leistungsdaten
Betrieb
einer Vakuumkammer ohne Kühlfalle gemäß der Pneurop-Norm 6602 (1979) gemessen.
Tabelle 2 Allgemeine Leistungsdaten
Parameter
Leistung im Hochvakuum-Betrieb S
Leistung im Hochdurchsatz-Betrieb S
Rückstromschutz
Maximaler Anfangsdruckanstieg ohne
Gasballast-Durchsatz
Maximale Verdrängung: m
Stromversorgung 50 Hz
Stromversorgung 60 Hz
Maximales Saugvermögen (Pneurop 6602, 1979): m
A65201882_AA
A65201882_AA - Technische Daten
wurden die Gesamtdruckwerte mit einem Kapazitäts-Membranmanometer an
3 -1
h
Nur für den Betrieb in Innenräumen
und der Tabelle: Leistungsdaten Hochvakuum-
Referenzdaten
RV3 RV5
Siehe Tabelle: Leistungsdaten – Hochvakuum-Betrieb
Siehe Tabelle: Leistungsdaten – Hochdurchsatz-Betrieb
-5
1 × 10 mbar l s
1 × 10
3,7 5,8
4,5 7,0
3 -1
h
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Referenzwerte
+12 bis +40 °C
-30 bis +70 °C
+50 bis +70 °C
Relative Luftfeuchtigkeit von 90 %
2000 m
2
II
RV8
-1 -3 -1
, 1 × 10 Pa l s
-1
mbar, 10 Pa
9,7
11,7
05/2021 - ©Edwards Limited
RV12
14,2
17,0