INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 9

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LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
FINE
FINE bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe für Einlassdrücke bis
0,4 mbar. Dieser wird auch für die Betriebsart "Schnüffeln" verwendet.
Formiergas
Formiergas ist ein Sammelbegriff für Gasgemische aus Stickstoff und Wasserstoff.
GROSS
GROSS bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe mit der niedrigsten
Empfindlichkeit. Dieser lässt hohe Einlassdrücke zu (bis 15 mbar).
Interner Heliumuntergrund
Das Messsystem des Dichtheitsprüfgeräts enthält immer eine gewisse Restmenge
Helium. Dieses erzeugt einen internen Messsignal-Anteil (Untergrundsignal), der von
Anfang an die Anzeige von Lecks überlagert und so bei der Lecksuche stört.
Um dieses Untergrundsignal auszublenden, ist die interne "Untergrundunterdrückung"
per Werkseinstellung aktiviert.
Kleinste nachweisbare Leckrate
Die kleinste nachweisbare Leckrate, die der Lecksucher unter idealen Bedingungen
-12
erfassen kann (< 5x10
ULTRA
ULTRA bezeichnet den Anschluss an die Turbomolekularpumpe für den Messbereich
mit der höchsten Empfindlichkeit bei Einlassdrücken unter 0,4 mbar (einstellbar).
Untergrundsignal
Helium oder Wasserstoff (als Teil von Wasser) sind natürliche Bestandteile von Luft.
Betriebsart "Vakuum": Vor jeder Lecksuche befindet sich bereits eine gewisse Menge
des eingestellten Prüfgases im Volumen, auf den Oberflächen von Prüfkammer, Zulei-
tungen, und sogar im Dichtheitsprüfgerät selbst. Diese gewisse Menge an Prüfgas er-
zeugt ein Messsignal, welches "Untergrundsignal" genannt wird. Durch das fortwäh-
rende Evakuieren der Prüfkammer wird dieses Untergrundsignal kontinuierlich verrin-
gert.
Betriebsart "Schnüffeln": Über die Schnüffelleitung wird kontinuierlich Umgebungsluft
in das Dichtheitsprüfgerät geführt. Die in Luft natürlich vorkommende Menge Helium
bzw. Wasserstoff erzeugt dabei ein konstantes Untergrundsignal.
Vorvakuumdruck
Druck im Vorvakuum zwischen der Turbomolekularpumpe und der Vorvakuumpumpe.
mbar l/s).
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