INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 4

Inhaltsverzeichnis
7.1 Gerät einschalten.................................................................................................................................... 39
7.2 Voreinstellungen ..................................................................................................................................... 40
7.3 Einheit für die Leckrate wählen............................................................................................................... 42
7.4 Einheit für den Druck wählen.................................................................................................................. 43
7.5 Kompatibilitätsmodus wählen ................................................................................................................. 43
7.6 Betriebsart wählen .................................................................................................................................. 45
7.7 Gasart wählen (Masse)........................................................................................................................... 46
7.8 Gerät kalibrieren ..................................................................................................................................... 47
7.8.1 Zeitpunkt und generelle Voreinstellungen................................................................................... 47
7.8.2 Interne Kalibrierung konfigurieren und starten............................................................................ 49
7.8.3 Externe Kalibrierung konfigurieren und starten........................................................................... 50
7.8.4 Externe dynamische Kalibrierung starten ................................................................................... 52
7.8.5 Externe Kalibrierung mit der Schnüffelleitung SL3000XL ........................................................... 54
7.8.6 Kalibrierung prüfen...................................................................................................................... 55
7.8.6.1 Kalibrierung mit internem Prüfleck prüfen .......................................................................... 55
7.8.6.2 Kalibrierung mit externem Prüfleck prüfen ......................................................................... 55
7.8.7 Kalibrierfaktor eingeben .............................................................................................................. 56
7.8.7.1 Kalibrierfaktor Schnüffeln ................................................................................................... 56
7.8.7.2 Kalibrierfaktor Vakuum....................................................................................................... 56
7.8.8 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen ................................................................................. 57
7.8.8.1 Maschinen- und Schnüffelfaktor manuell einstellen........................................................... 57
7.8.8.2 Maschinen- und Schnüffelfaktor per Maschinenkalibrierung einstellen ............................. 58
7.9 Messung starten und stoppen ................................................................................................................ 59
7.10 Parameter speichern und laden.............................................................................................................. 59
7.11 Messdaten kopieren, Messdaten löschen .............................................................................................. 60
7.12 Gas-Untergründe mit den "ZERO"-Funktionen unterdrücken................................................................. 60
7.13 Messergebnis-Darstellung mit Signalfiltern ............................................................................................ 61
7.14 Gasballastventil der Vorvakuumpumpe steuern ..................................................................................... 62
7.15 Anzeigegrenzen wählen ......................................................................................................................... 63
7.16 Triggerwerte einstellen ........................................................................................................................... 63
7.17 Kapillarüberwachung einstellen .............................................................................................................. 64
7.18 Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen ...................................................................................... 64
7.19 Kathode auswählen ................................................................................................................................ 65
7.20 Einstellungen für den XL Sniffer Adapter................................................................................................ 65
7.21 Einstellungen zurücksetzen .................................................................................................................... 68
8 Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation) ............................................................................................................. 70
8.1 Gerät einschalten.................................................................................................................................... 70
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