INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 26

4 | Beschreibung
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Parameter
Kathodenauswahl
Kompatibilitätsmodus
Konfig. Analog-Ausgang 1
Konfig. Analog-Ausgang 2
Konfig. Analog-Ausgang Skalierung
Konfiguration digitale Ausgänge
Konfiguration digitale Eingänge
Leckrateneinheit SNIF, (Display und
Schnittstelle)
Leckrateneinheit VAC, (Display und
Schnittstelle)
Leckrate obere Grenze VAC (Schnittstel-
le)
Leckrate untere Grenze VAC (Schnitt-
stelle)
Leckrate obere Grenze SNIF (Schnitt-
stelle)
Leckrate untere Grenze SNIF (Schnitt-
stelle)
Lüftersteuerung
Maschinenfaktor in Standby
Maschinenfaktor / Schnüffelfaktor
Masse
Werkseinstellung
Auto Cat1
LDS3000
1)
AQ
Leckrate Mantisse
Leckrate Exponent
0,5 V / Dekade
Pin 1: Trigger 1, invertiert
Pin 2: Trigger 2, invertiert
Pin 3: Trigger 3, invertiert
Pin 4: Trigger 4, invertiert
Pin 5: Ready
Pin 6: Error, invertiert
Pin 7: CAL request, invertiert
Pin 8: Open, invertiert
Pin 1: Select dyn. / normal CAL
Pin 2: Sniff
Pin 3: Start/Stop, invertiert
Pin 4: ZERO
Pin 5: External CAL
Pin 6: Internal CAL
Pin 7: Clear
Pin 8: ZERO update
Pin 9: –
Pin 10: –
mbar l/s
mbar l/s
4
1.0 x 10
-12
1.0 x 10
4
1.0 x 10
-8
1.0 x 10
Lüfter immer an
Aus
1.0 (für alle Massen)
4
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
INFICON