INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 5

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8.2 Voreinstellungen ..................................................................................................................................... 70
8.3 Einheit für die Leckrate wählen............................................................................................................... 71
8.4 Einheit für den Druck wählen.................................................................................................................. 72
8.5 Kompatibilitätsmodus wählen ................................................................................................................. 72
8.6 Basiseinstellungen über Assistent vornehmen ....................................................................................... 75
8.7 Peak bestimmen ..................................................................................................................................... 76
8.8 Leckrate von Prüflecks hinterlegen......................................................................................................... 76
8.9 Gerät kalibrieren ..................................................................................................................................... 77
8.9.1 Zeitpunkt und generelle Voreinstellungen................................................................................... 77
8.9.2 Kalibrierfaktor eingeben .............................................................................................................. 79
8.9.3 Kalibrierfaktor Vakuum................................................................................................................ 79
8.9.4 Kalibrieren................................................................................................................................... 79
8.10 ZERO ausführen..................................................................................................................................... 82
8.11 Maschinen- und Schnüffelfaktor einstellen ............................................................................................. 82
8.11.1 Maschinen- und Schnüffelfaktor manuell einstellen.................................................................... 82
8.12 Messung durchführen ............................................................................................................................. 84
8.13 Parameter speichern und laden.............................................................................................................. 85
8.14 Messdaten kopieren, Messdaten löschen .............................................................................................. 85
8.15 "Zerozeit Faktor AQ" anpassen .............................................................................................................. 85
8.16 Anzeigegrenzen wählen ......................................................................................................................... 85
8.17 Drehzahl der Turbomolekularpumpe einstellen ...................................................................................... 86
8.18 Kathode auswählen ................................................................................................................................ 86
8.19 Einstellungen zurücksetzen .................................................................................................................... 87
9 Erweiterungsmodul nutzen (LDS3000, LDS3000 AQ) ................................................................................... 88
9.1 Typ des Erweiterungsmoduls auswählen ............................................................................................... 88
9.2 Einstellungen für das I/O-Modul IO1000................................................................................................. 88
9.2.1 Allgemeine Schnittstellen-Einstellungen ..................................................................................... 88
9.2.2 Ein- und Ausgänge belegen........................................................................................................ 89
9.2.2.1 Digitale Eingänge des I/O-Moduls belegen........................................................................ 96
9.2.2.2 Digitale Ausgänge des I/O-Moduls belegen....................................................................... 99
9.3 Einstellungen für das Busmodul BM1000............................................................................................. 101
10 Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ) .............................................................................. 102
10.1 Darstellung der Fehlercodes mit Hilfe der Status-LEDs ....................................................................... 110
11 Betrieb CU1000 (optional) ............................................................................................................................ 112
11.1 Elemente des Touchscreens ................................................................................................................ 112
11.1.1 Elemente der Messanzeige ...................................................................................................... 112
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
Inhaltsverzeichnis
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