INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 19

INFICON
Optionales Zubehör
von INFICON
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
Falls Sie eine eigene Vorvakuumpumpe einsetzen wollen, stellen Sie sicher, dass es
sich um eine trockene Vorvakuumpumpe mit einem Gasfluss von mehr als 60 sccm
bei einem Basisdruck von unter 5 mbar handelt. Sie sollte über eine eigene Stromver-
sorgung verfügen.
Falls Sie eine eigene Bedieneinheit einsetzen wollen, beachten Sie, dass der Assis-
tent zur Vornahme der Messeinstellungen, zum Kalibrieren und zum Einstellen der
ZERO-Funktion sich nur auf der INFICON Bedieneinheit CU1000 befindet.
Siehe auch "Komponenten auswählen und Verbindungen herstellen [} 36]".
Mit Ausnahme der Messkammer werden die benötigten Teile auch von INFICON an-
geboten.
• Bedieneinheit CU1000 (inkl. Assistent zur Vornahme wichtiger Einstellungen)
• I/O1000 (Geräteschnittstelle zwischen einem Lecksucher und einer externen
Steuerung.)
• BM1000 (Geräteschnittstelle zwischen z. B. der MSB-Box des Massenspektrome-
ter-Moduls LDS3000 und einer externen Steuerung.)
• Trockene Vorpumpe von INFICON (Katalog-Nummer 560-630)
Anschluss für Schlauch ID 10 mm
Abb. 5: Vorpumpe von INFICON
Sehen Sie dazu auch
2 Gesamtgerät (LDS3000) [} 16]
Anschluss für Schalldämpfer (optional)
Anschluss Plus (24 V)
Beschreibung | 4
Anschluss Minus
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