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INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 13

Massenspektrometer-modul
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INFICON
Kinetische Energie
Verletzungsgefahr
durch berstende Ge-
genstände
Gefahr durch implodie-
rende Messkammer
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
• Trennen Sie vor allen Installations- und Wartungsarbeiten das Gerät von der
Stromversorgung. Stellen Sie sicher, dass die Stromversorgung nicht unbefugt
wiederhergestellt werden kann.
• Trennen Sie vor Beginn der Leckprüfung elektrisch betriebene Prüfobjekte von der
Stromversorgung.
Das Gerät enthält elektrische Bauteile, die durch hohe elektrische Spannung beschä-
digt werden können.
• Stellen Sie vor dem Anschluss an die Stromversorgung sicher, dass die Versor-
gungsspannung 24 V +/- 5 % beträgt.
Sollten die rotierenden Teile in der Turbomolekularpumpe durch einen Schaden blo-
ckieren, müssen hohe Fliehkräfte aufgefangen werden. Gelingt dies nicht, bricht das
Massenspektrometer-Modul aus und es können Sach- und Personenschäden entste-
hen.
• Sicherstellen, dass die Befestigung des Massenspektrometer-Moduls ein Brems-
moment von 820 Nm aufnehmen kann.
Falls ein angeschlossenes Prüfobjekt oder Verbindungen zum Prüfobjekt dem Unter-
druck durch den Vakuumbetrieb nicht standhalten, besteht Verletzungsgefahr durch
berstende Gegenstände.
• Treffen Sie geeignete Schutzvorkehrungen.
Eine externe Messkammer, die an einen LDS3000 AQ angeschlossen wird, wird mit
ca. 60 sccm abgepumpt. Im Rahmen üblicher Messzeiten (2 - 30 Sekunden) wird kein
gefährlicher Unterdruck erzeugt.
Falls die Messkammer dicht ist, jedoch nicht vakuumfest ist, und weiter abgepumpt
wird, kann sie implodieren. Dies kann beispielsweise bei einer 1-l-Messkammer nach
ca. 10 Minuten eintreten.
• Pumpen Sie eine Messkammer nach Ablauf der Messzeit nicht weiter ab.
• Sehen Sie geeignete Schutzmaßnahmen vor!
Sicherheit | 2
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