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INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 114

Massenspektrometer-modul
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11 | Betrieb CU1000 (optional)
114 / 141
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H2
M3
8 - Betriebsart
Eingestellte Betriebsart
Anzeige
VA
SNIF
LOW FLOW
HIGH FLOW
Standby
9 - Leckrate
Aktueller Messwert der Leckrate.
10 - Graf
Grafische Darstellung der Leckrate Q(t).
11 - Leckrate
Zeitachse der Leckrate Q(t).
12 - Vorvakuumdruck (nicht bei Betriebsart XL Sniffer Adapter)
Vorvakuumdruck p1.
13 - Taste "Favorit 2"
Auf dieser Taste können bevorzugte Parameter abgelegt werden (siehe Seite 19). In
Abb. 4 ist die Taste "Favorit 2" beispielhaft mit der Funktion "Start/Stop" belegt.
14 - Taste "Favorit 1"
Auf dieser Taste können bevorzugte Parameter abgelegt werden (siehe Seite 19). In
Abb. 4 ist die Taste "Favorit 1" beispielhaft mit der Funktion "ZERO" belegt.
15 - Symbol für das Menü
Alle Funktionen und Parameter der Bedieneinheit sind über die Taste "Menü" zu errei-
chen.
Bedeutung
Wasserstoff
z.B. H-D,
He oder H
3
Betriebsart
Vakuum
Schnüffeln
XL Sniffer Adapter im LOW FLOW
XL Sniffer Adapter im HIGH FLOW
XL Sniffer Adapter im HIGH FLOW auf
Standby
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
INFICON
3

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