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INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 80

Massenspektrometer-modul
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8 | Betrieb LDS3000 AQ (Akkumulation)
80 / 141
ð Die Leckrate des Prüflecks wird angezeigt und die Frage, ob die Kalibrierung
gestartet werden soll.
3
Zum Start des Kalibriervorgang bestätigen Sie über "OK".
4
Folgen Sie den Anweisungen auf dem Bildschirm.
LD- oder ASCII-Protokoll, IO1000
1
Legen Sie das offene Prüfleck in die Messkammer und schließen Sie die Mess-
kammer.
2
Für ein stabiles Leckratensignal warten Sie mindestens die Dauer der einge-
stellten AQ-Messzeit ab.
3
Starten Sie die Kalibrierung
LD-Protokoll: Befehl 4, Parameter 1
ASCII-Protokoll: *CAL:EXT
IO1000: Eingang "CAL extern", siehe auch die folgende Abbildung
ð Bei Verwendung von Helium fahren Sie mit dem letzten Handlungsschritt (Nr.
8) fort.
4
Für eine Untergrundbestimmung bei Formiergas (Wasserstoff) fragen Sie an-
schließend den Verlauf ab:
LD-Protokoll: Befehl 260 (State Calibration)
ASCII-Protokoll: *STATus:CAL
ð Warten Sie bis zum Erreichen folgenden Zustands:
LD-Protokoll: Befehl 260 Zustand 75 "WAIT_ZERO_AQ"
ASCII-Protokoll: *STATus:CAL? auf "CLOSE"
IO1000: Ausgang "CAL stabil", siehe auch die folgende Abbildung
5
Entfernen Sie das Prüfleck aus der Messkammer und schließen Sie die Mess-
kammer.
6
Für ein stabiles Leckratensignal warten Sie mindestens die Dauer der einge-
stellten AQ-Messzeit ab.
7
Starten Sie die Untergrundmessung.
LD-Protokoll: Befehl 11, Parameter 1 (Continue calibration)
ASCII-Protokoll: *CAL:CLOSED
IO1000: Eingang "CAL extern", siehe auch die folgende Abbildung
8
Fragen Sie anschließend den Verlauf ab:
LD-Protokoll: Befehl 260 (State Calibration)
ASCII-Protokoll: *STATus:CAL
ð Warten Sie bis zum Erreichen folgenden Zustands:
LD-Protokoll: Befehl 260 Zustand 0 "READY"
ASCII-Protokoll: *STATus:CAL? auf "IDLE"
IO1000: Ausgang "CAL aktiv", siehe auch die folgende Abbildung
ð Die Kalibrierung ist abgeschlossen.
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
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