INFICON LDS3000 AQ Originalbetriebsanleitung Seite 106

10 | Warn- und Fehlermeldungen (LDS3000, LDS3000 AQ)
Warnung Fehleranzeige
(Wrn) LDS3000
Fehler
(Err)
Err340 Emissionsfehler
Wrn342 Kathoden nicht ange-
schlossen
Wrn350 Suppressor nicht ange-
schlossen
Wrn352 Vorverstärker nicht ange-
schlossen
Err358 Vorverstärker pendelt zwi-
schen 2 Bereichen
Wrn359 Vorverstärker übersteuert
Wrn360 Vorverstärker Output zu
niedrig
Wrn361 Vorverstärker Offset zu
hoch
Wrn362 Vorverstärker Bereichsfeh-
ler
106 / 141
Fehlernummer
LDS1000 Binär-
Protokoll bzw.ASCII
Protokoll
Kompatibili-
tätsmodus
LDS1000/
LDS2010
44 135
47 138
39 130
31 123
31 123
31 123
31 123
LDS3000-MSM-Bedienungsanleitung-jiqa54de1-07-(1803)
Grenzwerte Ursache
<90% des Emission war vorher stabil, ver-
Sollwerts mutlich hoher Druck, Meldung
nach 15s
>110% des
Sollwerts
Beide Kathoden beim Selbsttest
nach dem Einschalten defekt oder
Stecker nicht gesteckt
Supressorkabel beim Selbsttest
nach dem Einschalten nicht ge-
steckt oder defekt
Vorverstärker defekt, Kabel nicht
gesteckt
Signal schwankt zu stark (siehe
Befehl 1120)
Vorverstärker defekt
Signal zu groß, Vorverstärker de-
fekt
<-70 mV Ionenquelle schlecht oder Mas-
bei senspektrometer verunreinigt
500 GΩ
>+/-50 mV Vorverstärker defekt
bei
500 GΩ,
>+/-10 mV
bei 15 GΩ,
<+/-10 mV
bei
470 MΩ,
<+/-9 mV
bei 13 MΩ
Vorverstärker oder MSB-Box de-
fekt
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